2楼: Originally posted by uvwxmc at 2013-07-02 23:28:48
可见光最短波长是390nm，怎么可能聚焦到100nm呢。
为啥要求‘直写’呢？直写精度不只是焦斑直径的问题，还有扫描精度问题。
光刻实现100nm级别以下的图形精度，都得用短波长波束，X光，深紫外，电子束等等。