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xx4751

铜虫 (正式写手)

[求助] 激光直写技术最小能刻到多细

请问一下现在激光直写技术最小能刻到多细,100nm能达到吗?哪个地方有这种设备。谢谢
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123321wah

铜虫 (初入文坛)

据我了解,要达到100nm的精度的话就不会是激光直写技术了,而是电子束直写技术了。电子束直写的设备在不少高校和研究所都开始使用了。目前国内香港理化代理一种基于SEM改装的电子束曝光纳米图形发生系统。只需要一台扫描电镜+电子束纳米图形发生器即可完成相关研究,国内绝大部分用户都倾向这种电子束光刻技术。
16楼2013-08-08 12:38:59
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uvwxmc

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
华丽的飘过: 金币+2, 3q 2013-07-03 03:24:21
xx4751: 金币+10, 有帮助 2013-07-10 19:13:55
可见光最短波长是390nm,怎么可能聚焦到100nm呢。
为啥要求‘直写’呢?直写精度不只是焦斑直径的问题,还有扫描精度问题。
光刻实现100nm级别以下的图形精度,都得用短波长波束,X光,深紫外,电子束等等。
2楼2013-07-02 23:28:48
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xx4751

铜虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by uvwxmc at 2013-07-02 23:28:48
可见光最短波长是390nm,怎么可能聚焦到100nm呢。
为啥要求‘直写’呢?直写精度不只是焦斑直径的问题,还有扫描精度问题。
光刻实现100nm级别以下的图形精度,都得用短波长波束,X光,深紫外,电子束等等。

你好,谢谢你的回答,其实这方面我也不懂,我是想在一个材料上刻出100nm的一个长条,不知道能不能实现,如何实现?谢谢
3楼2013-07-03 08:28:36
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Apple.D.

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
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华丽的飘过: 金币+3, 3q 2013-07-09 01:59:02
可以实现,通过目前光刻可以做到的特征尺寸可以达到27nm,通过激光干涉光刻的方法做到100nm不是问题,但是通常使用的激光器属于短波段激光器,如355,266,193等等。
4楼2013-07-03 09:07:41
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