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Angusskanal木虫 (小有名气)
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[求助]
请问CVD法在铜上长的石墨烯（graphene），是不是不能应用于互连（interconnects）？
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如题， 第一个难点，好像CVD法在铜上只能长一、两层，长不了更多层。而互连必须是多层才能电阻率低，所以不能应用，是吗？请问有什么解决办法吗？ 第二个难点，好像CVD法在铜上生长的温度太高，而互连可接受的温度不高，所以不能用。请问有什么解决办法吗？ 谢谢 |
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