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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术交流 » 请问CVD法在铜上长的石墨烯（graphene），是不是不能应用于互连（interconnects）？
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Angusskanal

木虫 (小有名气)

[求助] 请问CVD法在铜上长的石墨烯（graphene），是不是不能应用于互连（interconnects）？

如题，
第一个难点，好像CVD法在铜上只能长一、两层，长不了更多层。而互连必须是多层才能电阻率低，所以不能应用，是吗？请问有什么解决办法吗？
第二个难点，好像CVD法在铜上生长的温度太高，而互连可接受的温度不高，所以不能用。请问有什么解决办法吗？
谢谢
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为科研奋斗终生
1楼 2013-06-24 00:34:29
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