应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 做光刻、刻蚀的请驻足浏览一下吧，悬赏50金币
汕头大学海洋科学接受调剂
51/1返回列表
查看: 2276  |  回复: 14
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

hello_Jzz

银虫 (小有名气)

[求助] 做光刻、刻蚀的请驻足浏览一下吧，悬赏50金币 已有1人参与

本人在做光刻，在二氧化硅上光刻后镀膜，然后套刻，RIE刻蚀，之后，光刻胶死活去不掉，有谁能帮我解决问题，或者能告诉我一个可行的办法，本人愿酬谢50金币，言而有信！
详细信息：光刻胶PR1-1000A，紫外曝光，蒸发镀膜，RIE氩离子80W刻蚀
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

12345678

» 猜你喜欢
1楼 2013-06-19 17:13:38
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

86179066

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

这种情况有可能是在可是过程中，你使用的气体，特别是F自由基与光刻胶的成分发生反应，光刻胶变性。我觉得可以尝试采用O2进行灰化试试。
赞一下 回复此楼

» 本帖已获得的红花（最新10朵）

hello_Jzz
5楼2013-12-05 20:24:04
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 15 个回答

leongoall

专家顾问 (知名作家)

P-M-I之初生牛犊
Mark！

光刻胶到了等离子体里面的确是做刻蚀的人的梦魇！期待高手出现！
赞一下 回复此楼
趁年轻，多折腾！曾年轻，折腾过？！
2楼2013-06-20 02:17:24
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

vincentwz

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★
华丽的飘过: 金币+1, 3q 2013-06-23 02:39:33
镀膜和RIE都会产生热，不知道有没有有效的水冷，受热后PR就很难去除

去PR时可以试试在acetone里面泡一个晚上
赞一下 回复此楼
3楼2013-06-22 18:37:06
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

stoyahao

禁虫 (初入文坛)
★ ★
华丽的飘过: 金币+2, 3q 2013-06-23 02:40:14
本帖内容被屏蔽
4楼2013-06-22 19:45:06
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 15 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 302分求调剂 +10 凡语祈愿 2026-04-08 11/550 2026-04-14 16:50 by jiangguiquan11
[考研] 材料专业344求调剂 +17 hualkop 2026-04-10 22/1100 2026-04-14 16:21 by sxdj2
[考研] 339求调剂 +4 hanwudada 2026-04-12 4/200 2026-04-13 12:03 by 蓝云思雨
[考研] 生物学调剂，一志愿西南大学348，Top期刊一区二作、二区三作，三等奖学金三次 +5 candyyyi 2026-04-09 5/250 2026-04-13 09:02 by 可淡不可忘
[考研] 2本，初试303，0860求调剂 +6 floriea 2026-04-12 8/400 2026-04-12 18:13 by zhouxiaoyu
[考研] 调剂 +10 只叙离别辞 2026-04-09 12/600 2026-04-11 20:57 by 逆水乘风
[考研] 359求调剂 +5 胃痉挛累了 2026-04-11 5/250 2026-04-11 19:55 by lbsjt
[考研] 22408 327分求调剂 +4 韵风kon 2026-04-10 4/200 2026-04-11 09:51 by 猪会飞
[考研] 085402通信工程调剂，有4项学科竞赛国奖（电赛国二），硕士研究生调剂自荐信。 +5 m永o不v言o弃m 2026-04-09 5/250 2026-04-11 09:33 by zhq0425
[考研] 342电子信息专硕求调剂 +9 你让我怎么荔枝 2026-04-10 10/500 2026-04-11 08:33 by zhq0425
[考研] 263能源动力专硕求调剂 +4 加大号饭盒袋 2026-04-10 4/200 2026-04-10 20:52 by gong120082
[考研] 22408 366分，本科211，一志愿西工大 +4 Rubt 2026-04-09 4/200 2026-04-10 19:51 by chemisry
[考研] 初试261 +3 Asht少 2026-04-10 6/300 2026-04-10 16:38 by Asht少
[考研] 282，电气工程专业，求调剂，不挑专业 +9 jggshjkkm 2026-04-10 9/450 2026-04-10 14:55 by 逆水乘风
[考研] 一志愿华东师范生物学326分，求调剂 +8 刘墨墨 2026-04-09 8/400 2026-04-10 12:00 by pengliang8036
[考研] 求调剂 +11 翩翩一书生 2026-04-09 13/650 2026-04-10 10:27 by liuhuiying09
[考博] 博士自荐 +7 可可小胖 2026-04-08 7/350 2026-04-10 08:28 by kimhero
[考研] 070300化学 求调剂 +13 73372112 2026-04-08 13/650 2026-04-09 20:22 by maddjdld
[考研] 调剂 +19 2261744733 2026-04-08 19/950 2026-04-09 19:11 by vgtyfty
[考研] 一志愿中科院105500专业总分315求调剂 +6 lallalh 2026-04-09 7/350 2026-04-09 17:51 by lallalh
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭