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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 做光刻、刻蚀的请驻足浏览一下吧，悬赏50金币
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hello_Jzz

银虫 (小有名气)

[求助] 做光刻、刻蚀的请驻足浏览一下吧，悬赏50金币 已有1人参与

本人在做光刻，在二氧化硅上光刻后镀膜，然后套刻，RIE刻蚀，之后，光刻胶死活去不掉，有谁能帮我解决问题，或者能告诉我一个可行的办法，本人愿酬谢50金币，言而有信！
详细信息：光刻胶PR1-1000A，紫外曝光，蒸发镀膜，RIE氩离子80W刻蚀
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1楼 2013-06-19 17:13:38
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

hello_Jzz

银虫 (小有名气)
送红花一朵
引用回帖:
6楼: Originally posted by lytzh at 2013-12-05 22:38:06
在Ar等离子体中通入氧气，应该可以有效对光刻胶进行灰化处理

你好，这个问题已经被我解决了，就是在Ar气刻蚀后，在用空气进行短时间刻蚀，这个过程叫灰化处理吗？你要是能早点回答这个问题就好了，解决这个问题用了我几个月的时间，现在已经在写文章了，不过还是谢谢你。
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7楼2013-12-09 23:00:55
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普通回帖

leongoall

专家顾问 (知名作家)

P-M-I之初生牛犊
Mark！

光刻胶到了等离子体里面的确是做刻蚀的人的梦魇！期待高手出现！
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趁年轻，多折腾！曾年轻，折腾过？！
2楼2013-06-20 02:17:24
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vincentwz

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★
华丽的飘过: 金币+1, 3q 2013-06-23 02:39:33
镀膜和RIE都会产生热，不知道有没有有效的水冷，受热后PR就很难去除

去PR时可以试试在acetone里面泡一个晚上
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3楼2013-06-22 18:37:06
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stoyahao

禁虫 (初入文坛)
★ ★
华丽的飘过: 金币+2, 3q 2013-06-23 02:40:14
本帖内容被屏蔽
4楼2013-06-22 19:45:06
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86179066

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

这种情况有可能是在可是过程中，你使用的气体，特别是F自由基与光刻胶的成分发生反应，光刻胶变性。我觉得可以尝试采用O2进行灰化试试。
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hello_Jzz
5楼2013-12-05 20:24:04
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lytzh

木虫 (小有名气)

贫民

【答案】应助回帖

在Ar等离子体中通入氧气，应该可以有效对光刻胶进行灰化处理
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» 本帖已获得的红花（最新10朵）

hello_Jzz
勤能补拙
6楼2013-12-05 22:38:06
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hello_Jzz

银虫 (小有名气)
送红花一朵
引用回帖:
5楼: Originally posted by 86179066 at 2013-12-05 20:24:04
这种情况有可能是在可是过程中，你使用的气体，特别是F自由基与光刻胶的成分发生反应，光刻胶变性。我觉得可以尝试采用O2进行灰化试试。

你好，这个问题已经被我解决了，就是在Ar气刻蚀后，在用空气进行短时间刻蚀，这个过程叫灰化处理吗？你要是能早点回答这个问题就好了，解决这个问题用了我几个月的时间，现在已经在写文章了，不过还是谢谢你
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8楼2013-12-09 23:01:49
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hello_Jzz

银虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by lytzh at 2013-12-05 22:38:06
在Ar等离子体中通入氧气，应该可以有效对光刻胶进行灰化处理

看到你是等离子体物理专业的，我正好有一个相关的问题想请教，一般什么仪器能够发射能量在几十eV能量的氩离子呢？不知道北京哪所高校有这种设备？
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9楼2013-12-09 23:03:22
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遮天绿叶

银虫 (初入文坛)
没有对应的洗涤剂吗
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天生乐观，自由奋斗。
10楼2013-12-09 23:52:48
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