应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 做光刻、刻蚀的请驻足浏览一下吧，悬赏50金币
51/1返回列表
查看: 2254  |  回复: 14
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

hello_Jzz

银虫 (小有名气)

[求助] 做光刻、刻蚀的请驻足浏览一下吧，悬赏50金币 已有1人参与

本人在做光刻，在二氧化硅上光刻后镀膜，然后套刻，RIE刻蚀，之后，光刻胶死活去不掉，有谁能帮我解决问题，或者能告诉我一个可行的办法，本人愿酬谢50金币，言而有信！
详细信息：光刻胶PR1-1000A，紫外曝光，蒸发镀膜，RIE氩离子80W刻蚀
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

12345678

» 猜你喜欢
1楼 2013-06-19 17:13:38
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

stoyahao

禁虫 (初入文坛)
★ ★
华丽的飘过: 金币+2, 3q 2013-06-23 02:40:14
本帖内容被屏蔽
4楼2013-06-22 19:45:06
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 15 个回答

leongoall

专家顾问 (知名作家)

P-M-I之初生牛犊
Mark！

光刻胶到了等离子体里面的确是做刻蚀的人的梦魇！期待高手出现！
赞一下 回复此楼
趁年轻，多折腾！曾年轻，折腾过？！
2楼2013-06-20 02:17:24
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

vincentwz

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★
华丽的飘过: 金币+1, 3q 2013-06-23 02:39:33
镀膜和RIE都会产生热，不知道有没有有效的水冷，受热后PR就很难去除

去PR时可以试试在acetone里面泡一个晚上
赞一下 回复此楼
3楼2013-06-22 18:37:06
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

86179066

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

这种情况有可能是在可是过程中，你使用的气体，特别是F自由基与光刻胶的成分发生反应，光刻胶变性。我觉得可以尝试采用O2进行灰化试试。
赞一下 回复此楼

» 本帖已获得的红花（最新10朵）

hello_Jzz
5楼2013-12-05 20:24:04
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 15 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 310求调剂 +13 666真好 2026-04-11 14/700 2026-04-12 16:48 by 1005715100
[考研] 277 数一104，学硕，求调剂 +21 瓶子PZ 2026-04-09 23/1150 2026-04-11 23:12 by labixiaoqiao
[教师之家] 请问地理、遥感方面，可以做哪些横向项目啊，纵向完不成考核啊 +3 锦衣卫寒战 2026-04-07 5/250 2026-04-11 20:51 by 豫椒
[考研] 288求调剂，一志愿华南理工大学071005 +18 ioodiiij 2026-04-08 18/900 2026-04-11 20:25 by liyun12321
[考研] 270求调剂 +14 杨乐369 2026-04-11 14/700 2026-04-11 20:16 by 蓝云思雨
[考研] 359求调剂 +5 胃痉挛累了 2026-04-11 5/250 2026-04-11 19:55 by lbsjt
[考研] 调剂 +5 文道星台 2026-04-11 5/250 2026-04-11 15:01 by 凯凯要变帅
[考研] 298求调剂 +9 钉叮咚冬瓜 2026-04-07 11/550 2026-04-11 09:35 by zhq0425
[考研] 一志愿211，化学310分，本科重点双非，求调剂 +23 努力奋斗112 2026-04-08 23/1150 2026-04-10 23:29 by 314126402
[基金申请] 有爆料，一个青年教师卖房得400万，然后换了一个四青帽子 +9 babu2015 2026-04-08 9/450 2026-04-10 11:43 by 苏东坡二世
[考研] 材料调剂 +5 hzhahg 2026-04-06 5/250 2026-04-10 10:10 by may_新宇
[考研] 314求调剂 +14 weltZeng 2026-04-09 14/700 2026-04-09 23:14 by wolf97
[考研] 材料专硕(0856) 339分求调剂 +9 哈哈哈鹅哈哈哈 2026-04-09 10/500 2026-04-09 20:01 by Orcid
[考研] 本科郑州大学，一志愿华东师范大学282求调剂 +23 熊哥xtk 2026-04-07 26/1300 2026-04-09 17:17 by 18446523
[考研] 二次调剂求老师收留 +3 笑笑袁 2026-04-08 3/150 2026-04-08 23:50 by 醉在风里
[考研] 生物医药调剂｜SCI中科院三区一作+多项科研成果 +8 likangxing 2026-04-07 11/550 2026-04-08 00:02 by lys0704
[考研] 一志愿西南090202求调剂 +4 在线求有学上 2026-04-07 4/200 2026-04-07 19:47 by biomichael
[考研] 材料调剂 +11 一样YWY 2026-04-07 11/550 2026-04-07 15:13 by shdgaomin
[考研] 312求调剂 +4 LR6 2026-04-06 4/200 2026-04-07 08:42 by jp9609
[考研] 材料调剂 +5 小刘同学吖吖 2026-04-06 5/250 2026-04-06 18:34 by sherry_1901
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭