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hello_Jzz

银虫 (小有名气)

[求助] 做光刻、刻蚀的请驻足浏览一下吧,悬赏50金币 已有1人参与

本人在做光刻,在二氧化硅上光刻后镀膜,然后套刻,RIE刻蚀,之后,光刻胶死活去不掉,有谁能帮我解决问题,或者能告诉我一个可行的办法,本人愿酬谢50金币,言而有信!
详细信息:光刻胶PR1-1000A,紫外曝光,蒸发镀膜,RIE氩离子80W刻蚀
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vincentwz

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖


华丽的飘过: 金币+1, 3q 2013-06-23 02:39:33
镀膜和RIE都会产生热,不知道有没有有效的水冷,受热后PR就很难去除

去PR时可以试试在acetone里面泡一个晚上
3楼2013-06-22 18:37:06
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