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请教AFM进行表面粗糙度测量后的数据参数表示什么意义?谢谢
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我用AFM进行样品表面粗糙度测量后除了图片还得到一些参数,如下: Image Statistics Img. Z range 106.53 nm Img. Mean -0.0000002nm Img. Rms (Rq) 12.999nm Img. Ra 10.116nm Box Statistics Box x dimension Box y dimension 我想请教给位朋友: 这些参数分别表示什么?尤其是Z range, Mean, Rms, Ra? 非常感谢~ |
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