24小时热门版块排行榜    

查看: 1894  |  回复: 10

陈尼玛

木虫 (初入文坛)

[求助] 30nm左右的PS薄膜退火以后发现薄膜上很多气泡,求解!

如题所示。旋涂的PS薄膜。30nm左右的厚度退火,结果出来是膜上很多气泡(用显微镜观察到清晰而密集的气泡),感觉是膜里面的东西暴出来了。
百思不得其解,求助!!
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

shuang1010

银虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
陈尼玛: 金币+5, 有帮助 2013-05-31 16:56:24
请问你选用的是什么方式退火?溶剂退火还是热力退火?我认为那不是气泡而是薄膜发生去润湿形成的Droplet,可以用AFM仔细观察,也可参考文献"Nosolvent-Induced Dewetting of Thin Polymer Films  "
作者 Xu Lin ,Shi Tongfei ,An Lijia
3楼2013-05-29 16:15:27
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

shuang1010

银虫 (初入文坛)

引用回帖:
8楼: Originally posted by shuang1010 at 2013-05-30 08:45:28
将薄膜至于相应的溶剂气氛里,不是放在溶剂里就OK了,有很多这样的文献,成为Solvent-Induced....

有很多Solvent-Annealing的文献
9楼2013-05-30 08:49:22
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通回帖

紫百合LYL

至尊木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
是不是一些微气泡,肉眼看不到的,可以涂之前抽真空再试试
人都会长大,你觉得痛苦,那说明你在承受了~
2楼2013-05-29 16:10:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

陈尼玛

木虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 紫百合LYL at 2013-05-29 16:10:26
是不是一些微气泡,肉眼看不到的,可以涂之前抽真空再试试

肉眼看出来像是一层雾。用显微镜看极为明显
4楼2013-05-29 16:30:01
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

陈尼玛

木虫 (初入文坛)

引用回帖:
3楼: Originally posted by shuang1010 at 2013-05-29 16:15:27
请问你选用的是什么方式退火?溶剂退火还是热力退火?我认为那不是气泡而是薄膜发生去润湿形成的Droplet,可以用AFM仔细观察,也可参考文献"Nosolvent-Induced Dewetting of Thin Polymer Films  "
作者 ...

我是真空热力退火。我想问是不是因为我的膜还没干透所以才发生这种情况?我的溶剂是甲苯。
5楼2013-05-29 16:30:38
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

shuang1010

银虫 (初入文坛)

引用回帖:
5楼: Originally posted by 陈尼玛 at 2013-05-29 16:30:38
我是真空热力退火。我想问是不是因为我的膜还没干透所以才发生这种情况?我的溶剂是甲苯。...

真空里溶剂很快就挥发了!应该是旋涂时出了问题,基底没有洗干净或者你的溶液里混有杂质,旋涂的膜很容易破。我也是做薄膜的,经常会遇到这种情况,旋涂时整个薄膜破掉,发生去润湿,形成最后的小液滴,就是你说的气泡。
6楼2013-05-29 19:58:10
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zhifeng

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by shuang1010 at 2013-05-29 16:15:27
请问你选用的是什么方式退火?溶剂退火还是热力退火?我认为那不是气泡而是薄膜发生去润湿形成的Droplet,可以用AFM仔细观察,也可参考文献"Nosolvent-Induced Dewetting of Thin Polymer Films  "
作者 ...

请问一下,溶剂退火怎么退

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
主动起来吧
7楼2013-05-29 22:12:33
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

shuang1010

银虫 (初入文坛)

引用回帖:
7楼: Originally posted by zhifeng at 2013-05-29 22:12:33
请问一下,溶剂退火怎么退
...

将薄膜至于相应的溶剂气氛里,不是放在溶剂里就OK了,有很多这样的文献,成为Solvent-Induced.
8楼2013-05-30 08:45:28
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zhifeng

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
9楼: Originally posted by shuang1010 at 2013-05-30 08:49:22
有很多Solvent-Annealing的文献...

谢谢

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
主动起来吧
10楼2013-05-30 22:44:59
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 学员hM2heu 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[公派出国] 售SCI文章,我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +5 ASdOkHsho7FD 2026-08-28 7/350 2026-08-30 01:12 by ZPa0EcMwuECS
[考研] 售一区SCI文章T0P,我:8O.551.O54,科目全,可十急 +5 ASdOkHsho7FD 2026-08-28 7/350 2026-08-30 01:03 by ZPa0EcMwuECS
[基金申请] 投票:  有多少人是今天查系统知道结果的? +16 爱看书的可乐 2026-08-26 18/900 2026-08-30 00:59 by winsaint
[硕博家园] 售SCI一区文章,我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +6 ASdOkHsho7FD 2026-08-28 10/500 2026-08-30 00:53 by ZPa0EcMwuECS
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章,我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +6 ASdOkHsho7FD 2026-08-28 12/600 2026-08-30 00:31 by ZPa0EcMwuECS
[考研] 售SCI一区文章,我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +4 G6APbkg8SA6w 2026-08-29 4/200 2026-08-29 22:27 by ZPa0EcMwuECS
[基金申请] 国社科申报系统有变化 +3 kynobel 2026-08-23 3/150 2026-08-29 21:57 by 余韵清
[论文投稿] 售SCI一区文章,我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +3 gy1nBQXYQJqL 2026-08-29 3/150 2026-08-29 18:26 by 4FFAWE8HcgUD
[基金申请] 有没有仍没收到信息的 +5 德尚中行 2026-08-27 6/300 2026-08-29 18:10 by manplx
[基金申请] 麻烦专家们看看评委们的意见(F口面上) +5 gdd2018 2026-08-28 10/500 2026-08-29 14:10 by Jacob678
[基金申请] 为什么资助数各大高校都创新高,自己申请怎么就这么难 +12 Kittylucky 2026-08-27 13/650 2026-08-29 00:04 by superceng
[基金申请] 基金不中,共勉 +11 eulota 2026-08-26 11/550 2026-08-28 14:22 by 火星超人xi
[基金申请] 基金系统什么内容也没有 30+4 winsaint 2026-08-27 9/450 2026-08-28 11:06 by maolC
[基金申请] 怎么查啊 +6 huang1991js 2026-08-26 6/300 2026-08-28 08:42 by winsaint
[基金申请] 2026年8月25日国自然放榜前突然收到列入评审专家邮件,有关系吗? +25 木水思豆 2026-08-25 28/1400 2026-08-26 14:53 by draco1987
[基金申请] 国际合作可查了,中了面上 (EPI+1)(金币+50) +18 Ldrop2023 2026-08-26 18/900 2026-08-26 11:15 by cmrandy
[基金申请] 系统进不去 +4 yanglien 2026-08-26 5/250 2026-08-26 11:10 by wenfengw83
[基金申请] 今天务委会开完了,明天出结果吗 +19 angus9576 2026-08-25 23/1150 2026-08-26 10:03 by zp519
[基金申请] 明天应该可查了!? +6 chengyan1220 2026-08-23 6/300 2026-08-25 19:45 by zfd97
[基金申请] 某些机构,以效率低为荣,以效率低作为存在感 +9 yuleib84 2026-08-25 10/500 2026-08-25 17:14 by alexon
信息提示
请填处理意见