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陈尼玛木虫 (初入文坛)
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30nm左右的PS薄膜退火以后发现薄膜上很多气泡，求解！
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如题所示。旋涂的PS薄膜。30nm左右的厚度退火，结果出来是膜上很多气泡（用显微镜观察到清晰而密集的气泡），感觉是膜里面的东西暴出来了。 百思不得其解，求助！！ |
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