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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 高分子 » 高分子物理 » 30nm左右的PS薄膜退火以后发现薄膜上很多气泡，求解！
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陈尼玛

木虫 (初入文坛)
引用回帖:
6楼: Originally posted by shuang1010 at 2013-05-29 19:58:10
真空里溶剂很快就挥发了!应该是旋涂时出了问题，基底没有洗干净或者你的溶液里混有杂质，旋涂的膜很容易破。我也是做薄膜的，经常会遇到这种情况，旋涂时整个薄膜破掉，发生去润湿，形成最后的小液滴，就是你说的气 ...

好的，我试一下，谢谢！
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11楼2013-05-31 16:54:28
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