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陈尼玛

木虫 (初入文坛)

[求助] 30nm左右的PS薄膜退火以后发现薄膜上很多气泡,求解!

如题所示。旋涂的PS薄膜。30nm左右的厚度退火,结果出来是膜上很多气泡(用显微镜观察到清晰而密集的气泡),感觉是膜里面的东西暴出来了。
百思不得其解,求助!!
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陈尼玛

木虫 (初入文坛)

引用回帖:
3楼: Originally posted by shuang1010 at 2013-05-29 16:15:27
请问你选用的是什么方式退火?溶剂退火还是热力退火?我认为那不是气泡而是薄膜发生去润湿形成的Droplet,可以用AFM仔细观察,也可参考文献"Nosolvent-Induced Dewetting of Thin Polymer Films  "
作者 ...

我是真空热力退火。我想问是不是因为我的膜还没干透所以才发生这种情况?我的溶剂是甲苯。
5楼2013-05-29 16:30:38
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查看全部 11 个回答

紫百合LYL

至尊木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
是不是一些微气泡,肉眼看不到的,可以涂之前抽真空再试试
人都会长大,你觉得痛苦,那说明你在承受了~
2楼2013-05-29 16:10:26
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shuang1010

银虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
陈尼玛: 金币+5, 有帮助 2013-05-31 16:56:24
请问你选用的是什么方式退火?溶剂退火还是热力退火?我认为那不是气泡而是薄膜发生去润湿形成的Droplet,可以用AFM仔细观察,也可参考文献"Nosolvent-Induced Dewetting of Thin Polymer Films  "
作者 Xu Lin ,Shi Tongfei ,An Lijia
3楼2013-05-29 16:15:27
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陈尼玛

木虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 紫百合LYL at 2013-05-29 16:10:26
是不是一些微气泡,肉眼看不到的,可以涂之前抽真空再试试

肉眼看出来像是一层雾。用显微镜看极为明显
4楼2013-05-29 16:30:01
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