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cylan

木虫 (正式写手)

[求助] 最近用SiO2做绝缘层制作晶体管，但是老是漏电，有没有办法避免。 已有1人参与

最近用SiO2做绝缘层制作晶体管，但是老是漏电，有没有办法避免。
我用的SiO2/Si，SiO2层有300nm厚。基本上每次测试都漏电。漏电如图所示。
我是先将半导体层转移到上面的，然后在半导体层上蒸镀了Al作为电极，SiO2下面的Si作为栅极。
探针台的探针有没有可能把SiO2层给扎破？
有哪位大侠给出个主意，怎么解决漏电问题。
最近用SiO2做绝缘层制作晶体管，但是老是漏电，有没有办法避免。
SiO2_Leakage.jpg
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1楼 2013-05-28 17:44:48
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lvyiyilv

木虫 (职业作家)
引用回帖:
8楼: Originally posted by 星空的物语 at 2021-03-18 16:30:44
买的哪家呢楼主

二氧化硅质量太差，绝缘性能不好。用icppecvd做，或者ald做氧化铝或者氧化哈做绝缘层可破解

发自小木虫Android客户端
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9楼2021-03-30 06:49:33
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tga200602

禁虫 (正式写手)
本帖内容被屏蔽
2楼2014-12-07 09:10:07
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zxk1204

新虫 (初入文坛)
请问您后来是怎么解决这个问题的？现在我也遇到了同样的问题了，谢谢您了！
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3楼2016-01-09 23:40:15
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cylan

木虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by zxk1204 at 2016-01-09 23:40:15
请问您后来是怎么解决这个问题的？现在我也遇到了同样的问题了，谢谢您了！

SiO2层质量问题，买国外的就没有问题了。
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4楼2016-01-11 00:00:02
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