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cylan木虫 (正式写手)
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最近用SiO2做绝缘层制作晶体管，但是老是漏电，有没有办法避免。 已有1人参与
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最近用SiO2做绝缘层制作晶体管，但是老是漏电，有没有办法避免。 我用的SiO2/Si，SiO2层有300nm厚。基本上每次测试都漏电。漏电如图所示。 我是先将半导体层转移到上面的，然后在半导体层上蒸镀了Al作为电极，SiO2下面的Si作为栅极。 探针台的探针有没有可能把SiO2层给扎破？ 有哪位大侠给出个主意，怎么解决漏电问题。  SiO2_Leakage.jpg |
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cylan
木虫 (正式写手)
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2楼2014-12-07 09:10:07
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苦范儿
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5楼2020-12-14 08:49:05
