应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 最近用SiO2做绝缘层制作晶体管，但是老是漏电，有没有办法避免。
91/1返回列表
查看: 2817  |  回复: 8
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

cylan

木虫 (正式写手)

[求助] 最近用SiO2做绝缘层制作晶体管，但是老是漏电，有没有办法避免。 已有1人参与

最近用SiO2做绝缘层制作晶体管，但是老是漏电，有没有办法避免。
我用的SiO2/Si，SiO2层有300nm厚。基本上每次测试都漏电。漏电如图所示。
我是先将半导体层转移到上面的，然后在半导体层上蒸镀了Al作为电极，SiO2下面的Si作为栅极。
探针台的探针有没有可能把SiO2层给扎破？
有哪位大侠给出个主意，怎么解决漏电问题。
最近用SiO2做绝缘层制作晶体管，但是老是漏电，有没有办法避免。
SiO2_Leakage.jpg
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2013-05-28 17:44:48
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

tga200602

禁虫 (正式写手)
本帖内容被屏蔽
2楼2014-12-07 09:10:07
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zxk1204

新虫 (初入文坛)
请问您后来是怎么解决这个问题的？现在我也遇到了同样的问题了，谢谢您了！
赞一下 回复此楼
3楼2016-01-09 23:40:15
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

cylan

木虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by zxk1204 at 2016-01-09 23:40:15
请问您后来是怎么解决这个问题的？现在我也遇到了同样的问题了，谢谢您了！

SiO2层质量问题，买国外的就没有问题了。
赞一下 回复此楼
4楼2016-01-11 00:00:02
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

苦范儿

木虫 (著名写手)
我最近也遇到这个问题，不知道怎么解决
赞一下 回复此楼
5楼2020-12-14 08:49:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

星空的物语

禁虫
本帖内容被屏蔽
6楼2021-03-18 12:49:15
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

星空的物语

禁虫
本帖内容被屏蔽
7楼2021-03-18 12:49:31
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

星空的物语

禁虫
本帖内容被屏蔽
8楼2021-03-18 16:30:44
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lvyiyilv

木虫 (职业作家)
引用回帖:
8楼: Originally posted by 星空的物语 at 2021-03-18 16:30:44
买的哪家呢楼主

二氧化硅质量太差，绝缘性能不好。用icppecvd做，或者ald做氧化铝或者氧化哈做绝缘层可破解

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
9楼2021-03-30 06:49:33
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 cylan 的主题更新
91/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[公派出国] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 qTvzQBRAHjCi 2026-08-07 4/200 2026-08-08 17:27 by oEVWOejN9taj
[基金申请] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 qTvzQBRAHjCi 2026-08-07 5/250 2026-08-08 17:02 by oEVWOejN9taj
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +3 qTvzQBRAHjCi 2026-08-07 5/250 2026-08-08 16:47 by oEVWOejN9taj
[基金申请] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +3 Vi50GxzrFcSG 2026-08-07 5/250 2026-08-08 16:27 by oEVWOejN9taj
[考博] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +3 Vi50GxzrFcSG 2026-08-07 4/200 2026-08-08 16:22 by oEVWOejN9taj
[基金申请] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 Vi50GxzrFcSG 2026-08-07 4/200 2026-08-08 16:19 by oEVWOejN9taj
[博后之家] 售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +3 Vi50GxzrFcSG 2026-08-07 4/200 2026-08-08 16:02 by oEVWOejN9taj
[基金申请] fileCode有新解读？ +9 Tide man 2026-08-08 17/850 2026-08-08 14:56 by archvillain
[公派出国] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 HEQlVqMTIA7d 2026-08-07 6/300 2026-08-08 14:39 by oEVWOejN9taj
[教师之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +4 HEQlVqMTIA7d 2026-08-07 5/250 2026-08-08 14:27 by oEVWOejN9taj
[基金申请] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +3 HEQlVqMTIA7d 2026-08-07 4/200 2026-08-08 14:27 by oEVWOejN9taj
[论文投稿] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 HEQlVqMTIA7d 2026-08-07 5/250 2026-08-08 14:22 by oEVWOejN9taj
[教师之家] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +3 KXLV3nuBVBY7 2026-08-07 5/250 2026-08-08 14:07 by oEVWOejN9taj
[论文投稿] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +3 KXLV3nuBVBY7 2026-08-07 6/300 2026-08-08 14:01 by oEVWOejN9taj
[基金申请] 基金中了 +14 laoda193707 2026-08-06 14/700 2026-08-08 00:23 by 实验小白ha
[基金申请] 化学口download_prp&fileCode的固定段好像这几天一直没变，有变的大神么？ +3 Tide man 2026-08-07 4/200 2026-08-07 22:39 by Tide man
[基金申请] 大家散了吧，后缀研究没有意义，别浪费时间了，过好目前的每一天，不要焦虑 +5 Tide man 2026-08-06 7/350 2026-08-07 13:11 by 医学老男孩
[基金申请] filecode +14 等待解的谜 2026-08-06 19/950 2026-08-07 12:20 by wlwhappy
[基金申请] 8月时间戳变的，举个手。玩一下，释放压力 +9 archvillain 2026-08-04 11/550 2026-08-05 20:06 by wlwhappy
[基金申请] 什么时候能放榜呀？ +3 Jacob678 2026-08-03 3/150 2026-08-03 16:14 by gltch
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭