应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 最近用SiO2做绝缘层制作晶体管，但是老是漏电，有没有办法避免。
91/1返回列表
查看: 2657  |  回复: 8
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

cylan

木虫 (正式写手)

[求助] 最近用SiO2做绝缘层制作晶体管，但是老是漏电，有没有办法避免。 已有1人参与

最近用SiO2做绝缘层制作晶体管，但是老是漏电，有没有办法避免。
我用的SiO2/Si，SiO2层有300nm厚。基本上每次测试都漏电。漏电如图所示。
我是先将半导体层转移到上面的，然后在半导体层上蒸镀了Al作为电极，SiO2下面的Si作为栅极。
探针台的探针有没有可能把SiO2层给扎破？
有哪位大侠给出个主意，怎么解决漏电问题。
最近用SiO2做绝缘层制作晶体管，但是老是漏电，有没有办法避免。
SiO2_Leakage.jpg
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2013-05-28 17:44:48
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

tga200602

禁虫 (正式写手)
本帖内容被屏蔽
2楼2014-12-07 09:10:07
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zxk1204

新虫 (初入文坛)
请问您后来是怎么解决这个问题的？现在我也遇到了同样的问题了，谢谢您了！
赞一下 回复此楼
3楼2016-01-09 23:40:15
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

cylan

木虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by zxk1204 at 2016-01-09 23:40:15
请问您后来是怎么解决这个问题的？现在我也遇到了同样的问题了，谢谢您了！

SiO2层质量问题，买国外的就没有问题了。
赞一下 回复此楼
4楼2016-01-11 00:00:02
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

苦范儿

木虫 (著名写手)
我最近也遇到这个问题，不知道怎么解决
赞一下 回复此楼
5楼2020-12-14 08:49:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

星空的物语

禁虫
本帖内容被屏蔽
6楼2021-03-18 12:49:15
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

星空的物语

禁虫
本帖内容被屏蔽
7楼2021-03-18 12:49:31
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

星空的物语

禁虫
本帖内容被屏蔽
8楼2021-03-18 16:30:44
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lvyiyilv

木虫 (职业作家)
引用回帖:
8楼: Originally posted by 星空的物语 at 2021-03-18 16:30:44
买的哪家呢楼主

二氧化硅质量太差，绝缘性能不好。用icppecvd做，或者ald做氧化铝或者氧化哈做绝缘层可破解

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
9楼2021-03-30 06:49:33
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 cylan 的主题更新
91/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 求材料调剂 +8 隔壁陈先生 2026-03-12 8/400 2026-03-18 22:19 by li123456789.
[考研] 311求调剂 +4 冬十三 2026-03-18 4/200 2026-03-18 21:47 by 尽舜尧1
[考研] 281求调剂（0805） +6 烟汐忆海 2026-03-16 15/750 2026-03-18 21:12 by Gaodh_82
[考研] 344求调剂 +6 knight344 2026-03-16 7/350 2026-03-18 20:13 by walc
[考研] 070303一志愿西北大学学硕310找调剂 +6 d如愿上岸 2026-03-12 9/450 2026-03-18 19:50 by macy2011
[考研] 085600材料与化工 +5 安全上岸！ 2026-03-16 5/250 2026-03-18 15:33 by cmz0325
[考研] 0703化学调剂 ，六级已过，有科研经历 +10 曦熙兮 2026-03-15 10/500 2026-03-18 14:19 by 007_lilei
[考研] 收复试调剂生 +4 雨后秋荷 2026-03-18 4/200 2026-03-18 14:16 by elevennnne
[考研] 材料专硕274一志愿陕西师范大学求调剂 +6 薛云鹏 2026-03-13 6/300 2026-03-18 14:14 by 脱颖而出
[考研] 312求调剂 +8 陌宸希 2026-03-16 9/450 2026-03-18 12:39 by Linda Hu
[考研] 288求调剂，一志愿华南理工大学071005 +4 ioodiiij 2026-03-17 4/200 2026-03-18 12:36 by Linda Hu
[考研] 0703化学336分求调剂 +6 zbzihdhd 2026-03-15 7/350 2026-03-18 09:53 by zhukairuo
[考研] 考研求调剂 +3 橘颂. 2026-03-17 4/200 2026-03-17 21:43 by 有只狸奴
[考研] 304求调剂 +5 素年祭语 2026-03-15 5/250 2026-03-16 17:00 by 我的船我的海
[考研] 277材料科学与工程080500求调剂 +3 自由煎饼果子 2026-03-16 3/150 2026-03-16 14:10 by 运气yunqi
[考研] 085601材料工程315分求调剂 +3 yang_0104 2026-03-15 3/150 2026-03-15 10:58 by peike
[考研] 材料与化工 323 英一+数二+物化，一志愿：哈工大 本人本科双一流 +4 自由的_飞翔 2026-03-13 5/250 2026-03-14 19:39 by hmn_wj
[考研] 中科大材料专硕319求调剂 +3 孟鑫材料 2026-03-13 3/150 2026-03-14 18:10 by houyaoxu
[考研] 0856材料与化工301求调剂 +5 奕束光 2026-03-13 5/250 2026-03-13 22:00 by 星空星月
[考研] 283求调剂，材料、化工皆可 +8 苏打水7777 2026-03-11 10/500 2026-03-13 09:06 by Linda Hu
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭