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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 光刻胶硬烘
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chc33

新虫 (初入文坛)

[交流] 光刻胶硬烘

请问光刻胶硬烘hardbake时如果使用热板，温度一般多少度，烘烤时间多少分钟？另外，为什么使用烘箱的烘烤时间要比使用热板的烘烤时间长？谢谢
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1楼 2013-05-23 12:00:32
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)
★
chc33(金币+1): 谢谢参与
124685887: 专家考核, 谢谢指导 2013-05-30 20:06:57
按光刻胶不同有手册的吧，我们都是查他们staff给出的list确定怎么烘的
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8楼2013-05-30 19:42:31
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
★
chc33(金币+1): 谢谢参与
124685887: 专家考核, 谢谢指导 2013-05-30 20:06:45
hardbake的时间和温度请参考光刻胶产品的说明书。光刻胶不同，差别很大。
热板是热传导的方式，烘箱是辐射和对流，显然热板的加热效率高，所以必须时间短。
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2楼2013-05-23 13:00:29
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liyang617730

木虫 (著名写手)
★
chc33(金币+1): 谢谢参与
这个和你用的胶有关吧
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4楼2013-05-23 13:33:52
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weibiming

木虫 (小有名气)
★
chc33(金币+1): 谢谢参与
温度和烘烤时间是由光刻胶类型及膜厚决定的，比如SU8膜厚为5μm左右的，一般烘烤所用温度为95℃，时间为3分钟，热板的。热板烘烤效果一般比烘箱好且快！
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5楼2013-05-24 08:56:06
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