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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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chc33

新虫 (初入文坛)


[交流] 光刻胶硬烘

请问光刻胶硬烘hardbake时如果使用热板,温度一般多少度,烘烤时间多少分钟?另外,为什么使用烘箱的烘烤时间要比使用热板的烘烤时间长?谢谢
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weibiming

木虫 (小有名气)



chc33(金币+1): 谢谢参与
温度和烘烤时间是由光刻胶类型及膜厚决定的,比如SU8膜厚为5μm左右的,一般烘烤所用温度为95℃,时间为3分钟,热板的。热板烘烤效果一般比烘箱好且快!
5楼2013-05-24 08:56:06
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chc33(金币+1): 谢谢参与
124685887: 专家考核, 谢谢指导 2013-05-30 20:06:45
hardbake的时间和温度请参考光刻胶产品的说明书。光刻胶不同,差别很大。
热板是热传导的方式,烘箱是辐射和对流,显然热板的加热效率高,所以必须时间短。
2楼2013-05-23 13:00:29
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liyang617730

木虫 (著名写手)



chc33(金币+1): 谢谢参与
这个和你用的胶有关吧
4楼2013-05-23 13:33:52
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bobo_ding

新虫 (初入文坛)



chc33(金币+1): 谢谢参与
一般两百六十度左右,参考MYCRO的 HP66
7楼2013-05-30 18:11:57
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