应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 光刻胶硬烘
81/1返回列表
查看: 2141  |  回复: 7
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

chc33

新虫 (初入文坛)

[交流] 光刻胶硬烘

请问光刻胶硬烘hardbake时如果使用热板，温度一般多少度，烘烤时间多少分钟？另外，为什么使用烘箱的烘烤时间要比使用热板的烘烤时间长？谢谢
回复此楼

» 猜你喜欢

» 抢金币啦！回帖就可以得到:

查看全部散金贴
1楼 2013-05-23 12:00:32
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)
★
chc33(金币+1): 谢谢参与
124685887: 专家考核, 谢谢指导 2013-05-30 20:06:45
hardbake的时间和温度请参考光刻胶产品的说明书。光刻胶不同，差别很大。
热板是热传导的方式，烘箱是辐射和对流，显然热板的加热效率高，所以必须时间短。
赞一下(1人) 回复此楼
2楼2013-05-23 13:00:29
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

liyang617730

木虫 (著名写手)
★
chc33(金币+1): 谢谢参与
这个和你用的胶有关吧
赞一下 回复此楼
4楼2013-05-23 13:33:52
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

weibiming

木虫 (小有名气)
★
chc33(金币+1): 谢谢参与
温度和烘烤时间是由光刻胶类型及膜厚决定的，比如SU8膜厚为5μm左右的，一般烘烤所用温度为95℃，时间为3分钟，热板的。热板烘烤效果一般比烘箱好且快！
赞一下 回复此楼
5楼2013-05-24 08:56:06
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

bobo_ding

新虫 (初入文坛)
★
chc33(金币+1): 谢谢参与
一般两百六十度左右，参考MYCRO的 HP66
赞一下 回复此楼
7楼2013-05-30 18:11:57
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)
★
chc33(金币+1): 谢谢参与
124685887: 专家考核, 谢谢指导 2013-05-30 20:06:57
按光刻胶不同有手册的吧，我们都是查他们staff给出的list确定怎么烘的
赞一下(1人) 回复此楼
8楼2013-05-30 19:42:31
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
简单回复
tangbohejin3楼
2013-05-23 13:31   回复  
chc33(金币+1): 谢谢参与
haixiawu6楼
2013-05-27 10:40   回复  
chc33(金币+1): 谢谢参与
相关版块跳转 我要订阅楼主 chc33 的主题更新
81/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 关于代码变化问题，想知道的进来 +7 且听虎啸 2026-08-07 10/500 2026-08-07 20:43 by 医学老男孩
[基金申请] 基金中了 +13 laoda193707 2026-08-06 13/650 2026-08-07 20:33 by tchen18
[基金申请] 固定端突然变了，今天 +6 archvillain 2026-08-06 10/500 2026-08-07 16:03 by 医学老男孩
[基金申请] 听说今天filecode变了 +24 布布和一二 2026-08-06 47/2350 2026-08-07 16:02 by zhiyanjiang
[基金申请] filecode与中标关系的预测 +3 布布和一二 2026-08-07 3/150 2026-08-07 15:09 by gltch
[基金申请] filecode变化情况 +6 布布和一二 2026-08-07 22/1100 2026-08-07 14:45 by 且听虎啸
[论文投稿] 十年后又回来了，论文投稿求助 +4 哈哈114477 2026-08-01 4/200 2026-08-07 14:39 by jgy194592
[基金申请] 大家散了吧，后缀研究没有意义，别浪费时间了，过好目前的每一天，不要焦虑 +5 Tide man 2026-08-06 7/350 2026-08-07 13:11 by 医学老男孩
[基金申请] 关于豆爷回答的JTJC与%2F数量 +4 yang182083 2026-08-06 6/300 2026-08-07 12:43 by 虫友是什么虫
[基金申请] 面上再次挂了，太难了，躺也躺不了，倦也卷不过，小学校之殇！ +23 低垂的野花 2026-07-31 31/1550 2026-08-07 12:22 by speculiar
[基金申请] filecode +8 布布和一二 2026-08-06 11/550 2026-08-06 20:41 by tangpu318
[基金申请] 求各位大神看下 100+6 hpkpkpkp 2026-08-05 33/1650 2026-08-06 14:49 by zhiyanjiang
[基金申请] 影响面上的因素 +8 布布和一二 2026-08-05 11/550 2026-08-06 10:41 by 宝贝虫子
[基金申请] 8月时间戳变的，举个手。玩一下，释放压力 +9 archvillain 2026-08-04 11/550 2026-08-05 20:06 by wlwhappy
[基金申请] 好消息？这个有何含义？？？ +8 Tide man 2026-08-05 10/500 2026-08-05 16:14 by xmuxiaoyu
[基金申请] 有没有H口的？有收到消息的吗？ +3 超级海虾 2026-08-04 3/150 2026-08-04 17:26 by 学教育滴
[基金申请] 纯娱乐，不喜欢勿喷 +7 Tide man 2026-08-04 10/500 2026-08-04 15:10 by loufangrui
[基金申请] 面上提前没消息，有中的吗 +14 archvillain 2026-08-02 18/900 2026-08-04 14:42 by archvillain
[基金申请] 娱乐 +4 Tide man 2026-08-03 4/200 2026-08-04 11:51 by wgch518
[基金申请] 什么时候能放榜呀？ +3 Jacob678 2026-08-03 3/150 2026-08-03 16:14 by gltch
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭