应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 光刻胶硬烘
51/1返回列表
查看: 1941  |  回复: 7
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

chc33

新虫 (初入文坛)

[交流] 光刻胶硬烘

请问光刻胶硬烘hardbake时如果使用热板，温度一般多少度，烘烤时间多少分钟？另外，为什么使用烘箱的烘烤时间要比使用热板的烘烤时间长？谢谢
回复此楼

» 猜你喜欢

» 抢金币啦！回帖就可以得到:

查看全部散金贴
1楼 2013-05-23 12:00:32
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

liyang617730

木虫 (著名写手)
★
chc33(金币+1): 谢谢参与
这个和你用的胶有关吧
赞一下 回复此楼
4楼2013-05-23 13:33:52
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 8 个回答

yswyx

专家顾问 (著名写手)
★
chc33(金币+1): 谢谢参与
124685887: 专家考核, 谢谢指导 2013-05-30 20:06:45
hardbake的时间和温度请参考光刻胶产品的说明书。光刻胶不同，差别很大。
热板是热传导的方式，烘箱是辐射和对流，显然热板的加热效率高，所以必须时间短。
赞一下(1人) 回复此楼
2楼2013-05-23 13:00:29
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

weibiming

木虫 (小有名气)
★
chc33(金币+1): 谢谢参与
温度和烘烤时间是由光刻胶类型及膜厚决定的，比如SU8膜厚为5μm左右的，一般烘烤所用温度为95℃，时间为3分钟，热板的。热板烘烤效果一般比烘箱好且快！
赞一下 回复此楼
5楼2013-05-24 08:56:06
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

bobo_ding

新虫 (初入文坛)
★
chc33(金币+1): 谢谢参与
一般两百六十度左右，参考MYCRO的 HP66
赞一下 回复此楼
7楼2013-05-30 18:11:57
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 8 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭