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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 综合其他 » 芯片封装中的shot map指什么？
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SleepTooLong

银虫 (小有名气)

[交流] 芯片封装中的shot map指什么？ 已有2人参与

如题，谢谢。
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1楼 2013-05-10 14:28:37
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SleepTooLong

银虫 (小有名气)
补充，是光刻工艺中的?
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2楼2013-05-10 14:32:18
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静静一yi

捐助贵宾 (著名写手)

静静
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
map  就该就是扫描图形，质谱的意思吧。连起来？？？？击中图形？不太清楚
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15501697107
3楼2013-05-10 14:51:28
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
★ ★ ★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
124685887: 金币+5, 专家考核, 回帖精彩 2013-05-10 20:10:41
124685887: MN-EPI+1, 知识丰富啊 2013-05-11 09:14:10
火车上，提交的时候断网了，又要输一遍，悲催啊！！！
这个shot map不是封装的术语，纯粹是光刻的，而且是只针对投影式步进光刻的。
在stepper光刻机中，reticle的图形被缩小投影到wafer表面，曝光wafer上的光刻胶。reticle一般尺寸是5寸或者6寸，而缩小的倍率一般是4倍或者5倍，最后得到的曝光范围是小于50mm的，一般是30mm左右见方。而对于wafer，从2寸到12寸，一次投影是不能完成整个面积的，必须要多次投影曝光才能覆盖整个wafer。
shot，指的就是一次投影曝光，很形象的命名，就像照相机在照相的时候闪光灯flash一下。
map，半导体领域常用于表示某种分布，也是很形象的命名，用的很广泛。
shot map，顾名思义，多次投影曝光在wafer上的分布。不同的产品，分布是不同的，甚至shot也是不同的，所以需要综合考虑。
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4楼2013-05-10 20:08:26
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
3楼: Originally posted by 静静一yi at 2013-05-10 14:51:28
map  就该就是扫描图形，质谱的意思吧。连起来？？？？击中图形？不太清楚

积极是好事，但是，没把握的不要回，回去好好读书练打字
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5楼2013-05-11 01:29:29
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静静一yi

捐助贵宾 (著名写手)
引用回帖:
5楼: Originally posted by yswyx at 2013-05-11 01:29:29
积极是好事，但是，没把握的不要回，回去好好读书练打字...

6楼2013-05-11 11:04:14
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