| 查看: 4826 | 回复: 5 | ||||
| 本帖产生 1 个 MN-EPI ，点击这里进行查看 | ||||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||||
|
|
||||
|
楼1970-01-01 08:00:00
|
|
|||
yswyx
|
||||
 |
专家经验: +651 |
回复此楼5楼2013-05-11 01:29:29
SleepTooLong
银虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 499.1
- 帖子: 207
- 在线: 132小时
- 虫号: 2212332
- 注册: 2012-12-29
- 性别: GG
- 专业: 非线性光学与量子光学
2楼2013-05-10 14:32:18
静静一yi
捐助贵宾 (著名写手)
静静
- 应助: 61 (初中生)
- 金币: 1334.7
- 散金: 4327
- 红花: 31
- 帖子: 1316
- 在线: 195.8小时
- 虫号: 2025780
- 注册: 2012-09-24
- 性别: MM
- 专业: 半导体光电子器件
3楼2013-05-10 14:51:28
yswyx 
专家顾问 (著名写手)
-
专家经验: +651 - MN-EPI: 8
- 应助: 807 (博后)
- 贵宾: 0.204
- 金币: 2618.9
- 散金: 6018
- 红花: 112
- 帖子: 2705
- 在线: 577.8小时
- 虫号: 446878
- 注册: 2007-10-30
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
- 管辖: 微米和纳米
★ ★ ★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
124685887: 金币+5, 专家考核, 回帖精彩 2013-05-10 20:10:41
124685887: MN-EPI+1, 知识丰富啊 2013-05-11 09:14:10
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
124685887: 金币+5, 专家考核, 回帖精彩 2013-05-10 20:10:41
124685887: MN-EPI+1, 知识丰富啊 2013-05-11 09:14:10
|
火车上，提交的时候断网了，又要输一遍，悲催啊！！！ 这个shot map不是封装的术语，纯粹是光刻的，而且是只针对投影式步进光刻的。 在stepper光刻机中，reticle的图形被缩小投影到wafer表面，曝光wafer上的光刻胶。reticle一般尺寸是5寸或者6寸，而缩小的倍率一般是4倍或者5倍，最后得到的曝光范围是小于50mm的，一般是30mm左右见方。而对于wafer，从2寸到12寸，一次投影是不能完成整个面积的，必须要多次投影曝光才能覆盖整个wafer。 shot，指的就是一次投影曝光，很形象的命名，就像照相机在照相的时候闪光灯flash一下。 map，半导体领域常用于表示某种分布，也是很形象的命名，用的很广泛。 shot map，顾名思义，多次投影曝光在wafer上的分布。不同的产品，分布是不同的，甚至shot也是不同的，所以需要综合考虑。 |
4楼2013-05-10 20:08:26
