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咖啡绿茶

新虫 (小有名气)


[交流] 求 测试样品成分的方法??

现在用飞秒照射硅片,在NF3,N2 和SF6 中氛围中,考虑在三种气体中分别掺进了N和S。但是样品表面是尖峰状大概在10um左右,考虑用二次例子质谱(SIMS)和卢瑟福背向散射(RBS),但是好像这两种方法都只能对表面平整的样品?是不是这种情况?还有什么方法能测试样品的成分??
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咖啡绿茶

新虫 (小有名气)


引用回帖:
4楼: Originally posted by zyoypx at 2013-05-04 23:59:08
还有XPS

XPS只能测试表面很浅的一层 知道那地方有那种可以测试深层的XPS吗?
5楼2013-05-05 22:33:39
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查看全部 6 个回答

犇?

铁杆木虫 (职业作家)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
常见的有GC,LC,GLC,GC-MS,NMR
1.XRD。如果物质种类不是太多的话,可以通过Rietveld精修后得到各种物质的准确含量,但这个精修比较专业;
2.XRD,X荧光。比较方便,可以直接得到,但似乎也不太准,特别对原子序数比较考前的元素;
3.EDS,能谱。个人觉得只能达到比较的层次,想精确获得各种物质含量,根本不可使;
4.电感耦合等离子体质谱。这个据说比较准啊,个人不是太了解。
个人觉得手段还是很多的,用什么样的测试手段,要看你的要求了
2楼2013-05-04 18:21:38
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咖啡绿茶

新虫 (小有名气)


???????:
2?: Originally posted by ??? at 2013-05-04 18:21:38
????????GC,LC,GLC,GC-MS,NMR
1.XRD?????????????????????????????Rietveld???????????????????????????????????????
2.XRD??X??????????????????????????????????????????? ...

?????л??
XRD????????????????????е???
2 ???????????????N ??????
3 ????????????????
лл
3楼2013-05-04 18:50:27
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zyoypx

金虫 (著名写手)



咖啡绿茶(金币+1): 谢谢参与
还有XPS

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
4楼2013-05-04 23:59:08
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