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咖啡绿茶

新虫 (小有名气)

[交流] 求 测试样品成分的方法？？

现在用飞秒照射硅片，在NF3，N2 和SF6 中氛围中，考虑在三种气体中分别掺进了N和S。但是样品表面是尖峰状大概在10um左右，考虑用二次例子质谱（SIMS）和卢瑟福背向散射（RBS），但是好像这两种方法都只能对表面平整的样品？是不是这种情况？还有什么方法能测试样品的成分？？
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1楼 2013-05-03 15:28:38
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犇�?

铁杆木虫 (职业作家)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
常见的有GC,LC,GLC,GC-MS,NMR
1.XRD。如果物质种类不是太多的话，可以通过Rietveld精修后得到各种物质的准确含量，但这个精修比较专业；
2.XRD，X荧光。比较方便，可以直接得到，但似乎也不太准，特别对原子序数比较考前的元素；
3.EDS，能谱。个人觉得只能达到比较的层次，想精确获得各种物质含量，根本不可使；
4.电感耦合等离子体质谱。这个据说比较准啊，个人不是太了解。
个人觉得手段还是很多的，用什么样的测试手段，要看你的要求了
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2楼2013-05-04 18:21:38
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咖啡绿茶

新虫 (小有名气)
???????:
2?: Originally posted by ??? at 2013-05-04 18:21:38
????????GC,LC,GLC,GC-MS,NMR
1.XRD?????????????????????????????Rietveld???????????????????????????????????????
2.XRD??X??????????????????????????????????????????? ...

?????л??
XRD????????????????????е???
2 ???????????????N ??????
3 ????????????????
лл
赞一下 回复此楼
3楼2013-05-04 18:50:27
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zyoypx

金虫 (著名写手)
★
咖啡绿茶(金币+1): 谢谢参与
还有XPS

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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4楼2013-05-04 23:59:08
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咖啡绿茶

新虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by zyoypx at 2013-05-04 23:59:08
还有XPS

XPS只能测试表面很浅的一层 知道那地方有那种可以测试深层的XPS吗？
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5楼2013-05-05 22:33:39
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haixiawu6楼
2013-05-17 14:16   回复  
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