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maya5428

铜虫 (小有名气)

[求助] 薄膜表面相关问题

模版在旋涂后 表面并无异常现象,表面颜色呈现出多种混合式,在经过硫化工艺处理后 测得SEM结果如图中所出现的现象. 问: 由于哪些条件会产生图中所出现的现象?

5-3.jpg
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wiseroy

木虫 (著名写手)

更多共享-更多交流-更多进步

【答案】应助回帖

气泡、不均匀、应力不均
善良
8楼2013-05-05 11:31:11
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maya5428

铜虫 (小有名气)

不要沉啊~

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
2楼2013-04-24 13:14:45
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maya5428

铜虫 (小有名气)

抱歉~ 实在是不想看到这个帖子沉下去。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
4楼2013-04-26 14:04:57
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钦点木瓜

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

从你的SEM图上来看,我认为首先你基片清洗的是否干净,有几个地方应该是硫化过程中产生了气泡,这可能是基片不干净导致了,其次,气泡的地方是不是在硫化之前受污染了,还有楼主是不是考虑了 悬涂的薄膜附着力的问题。至于那个膜颜色的问题,有可能是悬涂的时候膜厚不一,呈现的是梯度,所以有颜色叠加。
用绳命来搞科研
6楼2013-04-27 08:44:53
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