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HHBWF

禁虫 (小有名气)

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swxby

木虫 (著名写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
对,肯定射频比ZnO低,但是仪器不同,无法精确给出。
ZnO是氧化物不考虑腔室的电势分布,射频长的比较慢,你做掺杂肯定推荐射频了。
你应该用的三靶共溅或者其他共溅系统吧,其他金属可以使用直流,因为需要的少。
喵了个咪的~
13楼2013-12-05 15:50:11
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
用射频的话,沉积速率会较低
而且,两者溅出来的包膜的成分会有差别
2楼2013-04-18 10:16:02
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HHBWF

禁虫 (小有名气)

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3楼2013-04-18 10:21:39
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
3楼: Originally posted by HHBWF at 2013-04-18 11:21:39
请问一下 我所用的就是单质的金属靶材 这样溅射出来的成分也有差别吗?...

要是合金把的话,有区别

单质靶没大差别吧

你的好像是反应溅射?
应该差别不大
4楼2013-04-18 10:44:49
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