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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 晶体 » 晶体应用 » 求助：区熔法生长单晶硅
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mlzwm

木虫 (小有名气)

[求助] 求助：区熔法生长单晶硅

在区熔发生在单晶硅的过程中，需经过预热流程，想问下预热后硅的温度大概问多少？请大侠们指教
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1楼 2013-04-16 21:55:36
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qw905

至尊木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

在CECT第四十五所看到过德国ALD区熔炉！~~~
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10楼2013-07-02 08:21:28
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SCU_magiclee

铁杆木虫 (正式写手)

硅材料研发人员

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
就是熔点啊，1420度
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是金子总会发光！！！
2楼2013-04-17 21:26:35
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mlzwm

木虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by SCU_magiclee at 2013-04-17 21:26:35
就是熔点啊，1420度

预热过程就要达到熔点吗？不是预热之后还有电磁加热的吗？
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3楼2013-04-21 17:24:31
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SCU_magiclee

铁杆木虫 (正式写手)

硅材料研发人员

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
mlzwm: 金币+10, ★★★很有帮助 2013-04-22 09:00:41
引用回帖:
3楼: Originally posted by mlzwm at 2013-04-21 17:24:31
预热过程就要达到熔点吗？不是预热之后还有电磁加热的吗？...

拉单晶的原料虽然也叫多晶硅，但其实是微晶硅，基本上可以看做是绝缘体，必须要加热到导电状态电磁加热才能发挥作用，就像接力一样。其实在余热的时候，高频线圈也在发挥作用，实际的情况是预热叉里的石墨被高频线圈加热来“烘烤”多晶棒，多晶硅棒“变红”的一瞬间马上拿开预热叉，不然就污染了（碳和氧会从预热叉扩散进入熔体）。后面就靠线圈进行加热了。“变红”这个状态的温度和熔点基本上是同一温度了。
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是金子总会发光！！！
4楼2013-04-21 20:14:04
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