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mlzwm

木虫 (小有名气)

[求助] 求助:区熔法生长单晶硅

在区熔发生在单晶硅的过程中,需经过预热流程,想问下预热后硅的温度大概问多少?请大侠们指教
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qw905

至尊木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

在CECT第四十五所看到过德国ALD区熔炉!~~~
10楼2013-07-02 08:21:28
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查看全部 13 个回答

SCU_magiclee

铁杆木虫 (正式写手)

硅材料研发人员

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
就是熔点啊,1420度
是金子总会发光!!!
2楼2013-04-17 21:26:35
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mlzwm

木虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by SCU_magiclee at 2013-04-17 21:26:35
就是熔点啊,1420度

预热过程就要达到熔点吗?不是预热之后还有电磁加热的吗?
3楼2013-04-21 17:24:31
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SCU_magiclee

铁杆木虫 (正式写手)

硅材料研发人员

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
mlzwm: 金币+10, ★★★很有帮助 2013-04-22 09:00:41
引用回帖:
3楼: Originally posted by mlzwm at 2013-04-21 17:24:31
预热过程就要达到熔点吗?不是预热之后还有电磁加热的吗?...

拉单晶的原料虽然也叫多晶硅,但其实是微晶硅,基本上可以看做是绝缘体,必须要加热到导电状态电磁加热才能发挥作用,就像接力一样。其实在余热的时候,高频线圈也在发挥作用,实际的情况是预热叉里的石墨被高频线圈加热来“烘烤”多晶棒,多晶硅棒“变红”的一瞬间马上拿开预热叉,不然就污染了(碳和氧会从预热叉扩散进入熔体)。后面就靠线圈进行加热了。“变红”这个状态的温度和熔点基本上是同一温度了。
是金子总会发光!!!
4楼2013-04-21 20:14:04
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