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求助：区熔法生长单晶硅
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| 在区熔发生在单晶硅的过程中，需经过预热流程，想问下预热后硅的温度大概问多少？请大侠们指教 |
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在CECT第四十五所看到过德国ALD区熔炉！~~~ 10楼2013-07-02 08:21:28
