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signo

新虫 (正式写手)

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[求助] PMMA 溶于 NMP 或者 DMAC 吗？-----我是学物理的，但是需要用到这几种试剂，内详

故事简化来说是这样的：
（1）做电子束光刻的样品在底层涂有PMMA，然后再在上面是石墨烯层；
（2）之后涂层是ZEP520A，这也是一种有机材料，主要成分是苯乙烯-氯甲基丙烯酸脂聚合物（我自己翻译的，不是确切翻译）;
（3）光刻显影后沉积金，需要用到 NMP（N-甲基吡咯烷酮）或者DMAC（二甲基酰胺）做剥离，所以这时的问题是以上这两种溶液对 PMMA 有影响吗？我希望的是PMMA不溶解。

总的来说，我想寻找这样一种聚合物x 和溶剂y：这种聚合物x 能用于电子束光刻和显影，溶剂y 只能溶解这种聚合物，而不溶解PMMA.

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1楼 2013-04-02 23:40:18

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新虫 (正式写手)

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引用回帖:

4楼: Originally posted by killxmanx at 2013-04-05 12:32:12
倒不是说极性的就可以溶解PMMA，极性大的如甲醇乙醇就不溶解PMMA。
对于电子束光刻和显影这类不太懂，不溶解的PMMA溶剂倒是挺多的，环己烷，醇类，乙醚，石油醚等等，你可以根据这些选择一下

谢谢大家，我已经找到了答案。