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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 高分子 » 高分子化学 » PMMA 溶于 NMP 或者 DMAC 吗？-----我是学物理的，但是需要用到这几种试剂，内详
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signo

新虫 (正式写手)

[求助] PMMA 溶于 NMP 或者 DMAC 吗？-----我是学物理的，但是需要用到这几种试剂，内详

故事简化来说是这样的：
（1）做电子束光刻的样品在底层涂有PMMA，然后再在上面是石墨烯层；
（2）之后涂层是ZEP520A， 这也是一种有机材料，主要成分是 苯乙烯-氯甲基丙烯酸脂聚合物（我自己翻译的，不是确切翻译）;
（3）光刻显影后沉积金，需要用到 NMP（N-甲基吡咯烷酮）或者DMAC（二甲基酰胺）做剥离，所以这时的问题是以上这两种溶液对 PMMA 有影响吗？我希望的是PMMA不溶解。

总的来说，我想寻找这样一种 聚合物x 和 溶剂y：这种聚合物x 能用于电子束光刻和显影，溶剂y 只能溶解这种聚合物，而不溶解PMMA.
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1楼 2013-04-02 23:40:18
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love-study

至尊木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
Meteorの泪: 金币+1, 感谢应助 2013-04-03 12:36:16
signo: 金币+10, ★★★★★最佳答案 2013-04-11 04:03:27
好像可以溶解PMMA;至少DMF是可以溶解的。并且两种溶剂还都是极性溶剂；方便你可以用PMMA试试。
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学海无涯
2楼2013-04-03 07:49:00
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signo

新虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by love-study at 2013-04-03 07:49:00
好像可以溶解PMMA;至少DMF是可以溶解的。并且两种溶剂还都是极性溶剂；方便你可以用PMMA试试。

DMF 是  二甲基甲酰胺，
DMAC 是 二甲基乙酰胺，
前者溶的话，后者就玄了。我手头是有PMMA，没有溶剂。
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3楼2013-04-03 20:55:48
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killxmanx

铁虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
signo: 金币+10, ★★★★★最佳答案 2013-04-11 04:03:10
倒不是说极性的就可以溶解PMMA，极性大的如甲醇乙醇就不溶解PMMA。
对于电子束光刻和显影这类不太懂，不溶解的PMMA溶剂倒是挺多的，环己烷，醇类，乙醚，石油醚等等，你可以根据这些选择一下
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东东西西
4楼2013-04-05 12:32:12
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signo

新虫 (正式写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by killxmanx at 2013-04-05 12:32:12
倒不是说极性的就可以溶解PMMA，极性大的如甲醇乙醇就不溶解PMMA。
对于电子束光刻和显影这类不太懂，不溶解的PMMA溶剂倒是挺多的，环己烷，醇类，乙醚，石油醚等等，你可以根据这些选择一下

谢谢大家，我已经找到了答案。
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5楼2013-04-11 04:02:57
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我是特种兵

银虫 (初入文坛)
答案是啥？

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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6楼2013-04-11 07:51:25
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signo

新虫 (正式写手)
引用回帖:
6楼: Originally posted by 我是特种兵 at 2013-04-11 07:51:25
答案是啥？

用一种负胶，主要成分我也不知道是什么，但是是溶解在 PGMEA(丙二醇甲醚乙酸酯) 中的有机物，在电子束的作用下，有机物发生聚合（如果是正胶是聚合物的链发生断裂），这样在四甲基氢氧化铵 中（这是一种碱性溶液），没有被电子束作用过的地方就会溶解吗（这就是显影过程），而 PMMA层 则不会发生反应；如果在此碱性溶液中浸泡更长时间，所有的负胶都会溶解，这就是剥离Lift-off 过程。整个过程对 PMMA无影响。
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7楼2013-04-11 18:56:34
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