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PMMA 溶于 NMP 或者 DMAC 吗?-----我是学物理的,但是需要用到这几种试剂,内详
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故事简化来说是这样的: (1)做电子束光刻的样品在底层涂有PMMA,然后再在上面是石墨烯层; (2)之后涂层是ZEP520A, 这也是一种有机材料,主要成分是 苯乙烯-氯甲基丙烯酸脂聚合物(我自己翻译的,不是确切翻译); (3)光刻显影后沉积金,需要用到 NMP(N-甲基吡咯烷酮)或者DMAC(二甲基酰胺)做剥离,所以这时的问题是以上这两种溶液对 PMMA 有影响吗?我希望的是PMMA不溶解。 总的来说,我想寻找这样一种 聚合物x 和 溶剂y:这种聚合物x 能用于电子束光刻和显影,溶剂y 只能溶解这种聚合物,而不溶解PMMA. |
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