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制备的薄膜材料出现断裂,进而脱落严重,达人帮忙分析原因! 已有9人参与
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在金属基体上蒸镀的金属薄膜,退火后,看金相出现这种断裂,我认为是热应力(张应力)引起的薄膜断裂,不知道高手们有什么看法,帮忙分析下。 其中前2张为同一次实验的,第3张为另一次实验的,感觉前两张反应出薄膜还是致密的,但退火后断裂了,裂纹由表及里。第3张应该退火本身也有温度,薄膜不致密,且也出现了应力断裂。不知道分析的对不? IMG381.jpg IMG382.jpg IMG383.jpg |
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wiseroy
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11楼2013-05-05 11:34:42
wangbo1966
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