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gladiater

木虫 (正式写手)

[交流] 制备的薄膜材料出现断裂,进而脱落严重,达人帮忙分析原因! 已有9人参与

在金属基体上蒸镀的金属薄膜,退火后,看金相出现这种断裂,我认为是热应力(张应力)引起的薄膜断裂,不知道高手们有什么看法,帮忙分析下。
    其中前2张为同一次实验的,第3张为另一次实验的,感觉前两张反应出薄膜还是致密的,但退火后断裂了,裂纹由表及里。第3张应该退火本身也有温度,薄膜不致密,且也出现了应力断裂。不知道分析的对不?

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gladiater

木虫 (正式写手)

基体是打磨过的,是真空蒸发镀膜,方式不能变。薄膜热膨胀系数11.6,基体一类为18.1,另一类为12.3,都有脱落的问题。
   我怀疑是不是退火后温度下降太快啊,自然降温开始30度/MIN,后期小鱼10度/MIN。另镀膜前基体被弯成了弧形,是不是应力会集中啊,影响大?
4楼2013-03-29 22:18:49
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gladiater

木虫 (正式写手)

引用回帖:
8楼: Originally posted by ujn_cxd at 2013-04-22 11:23:59
你的膜有多厚啊 ,

40个微米左右吧
9楼2013-04-22 20:58:52
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gladiater

木虫 (正式写手)

膜基热膨胀系数 有一定差别,分别为12 和18左右。
薄膜材料极易氧化,是否为氧化物未测定,但是有可能的。
13楼2013-05-06 20:42:35
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