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gladiater

木虫 (正式写手)

[交流] 制备的薄膜材料出现断裂,进而脱落严重,达人帮忙分析原因! 已有9人参与

在金属基体上蒸镀的金属薄膜,退火后,看金相出现这种断裂,我认为是热应力(张应力)引起的薄膜断裂,不知道高手们有什么看法,帮忙分析下。
    其中前2张为同一次实验的,第3张为另一次实验的,感觉前两张反应出薄膜还是致密的,但退火后断裂了,裂纹由表及里。第3张应该退火本身也有温度,薄膜不致密,且也出现了应力断裂。不知道分析的对不?

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beijingice

银虫 (小有名气)

★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2013-03-29 07:55:35
原因可能有两个:其一是两种材料热膨胀系数相差大,高温退火导致脱落;其二是镀膜附着性差,高温退火导致脱落,这可以通过加过渡层和用溅射镀膜解决。
逆水行舟
3楼2013-03-29 02:22:59
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