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制备的薄膜材料出现断裂，进而脱落严重，达人帮忙分析原因！ 已有9人参与
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在金属基体上蒸镀的金属薄膜，退火后，看金相出现这种断裂，我认为是热应力（张应力）引起的薄膜断裂，不知道高手们有什么看法，帮忙分析下。 其中前2张为同一次实验的，第3张为另一次实验的，感觉前两张反应出薄膜还是致密的，但退火后断裂了，裂纹由表及里。第3张应该退火本身也有温度，薄膜不致密，且也出现了应力断裂。不知道分析的对不？  IMG381.jpg  IMG382.jpg  IMG383.jpg |
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wangbo1966
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2楼2013-03-28 23:44:48