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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 测试表征 » 请问有谁熟知“TiN电极”材料？能否做成点电极在上面测试结构的电性能？
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scream

银虫 (小有名气)

[求助] 请问有谁熟知“TiN电极”材料？能否做成点电极在上面测试结构的电性能？

各位虫友：
           你们好！拜托请教一个关于TiN电极的问题。
           我现在做的是HfO2掺杂的薄膜，结构是Si/SiO2/Si:HfO2/TiN。希望用TiN作为电极。但是我看到别人做的在TiN上面还加了一层poly-Si电极。我不知道能否直接在TiN上面测试？如果可以将方便得多。
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1楼 2013-03-22 10:56:34
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shuangjuan

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★
nofrunolif: 金币+1, 鼓励新虫交流 2013-03-26 23:02:25
这个完全可以。在我们做resistive random access memory 的领域，经常用它做电极。此外，其硬度很高，探针直接接触完全没问题。
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3楼2013-03-26 20:09:09
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2013-03-25 22:32:45
TiN经常被用来做欧姆接触的过渡层。探针直接扎到TiN上还是有一定接触电阻的，所以再做一层和金属接近的材料比较好。
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2楼2013-03-25 21:54:29
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