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请问有谁熟知“TiN电极”材料？能否做成点电极在上面测试结构的电性能？
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各位虫友： 你们好！拜托请教一个关于TiN电极的问题。 我现在做的是HfO2掺杂的薄膜，结构是Si/SiO2/Si:HfO2/TiN。希望用TiN作为电极。但是我看到别人做的在TiN上面还加了一层poly-Si电极。我不知道能否直接在TiN上面测试？如果可以将方便得多。 |
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