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小木虫论坛-学术科研互动平台» 学术交流区» 论文翻译 » 论文翻译求助完结子版 » 【求助句子翻译】有关石墨烯的文章中的句子理解
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conperint

金虫 (正式写手)

[求助] 【求助句子翻译】有关石墨烯的文章中的句子理解

In their pioneering work, Han et al. produced GNRs from mechanically exfoliated
graphene by e-beam patterning followed by oxygen plasma etching.

石墨烯中的e-beam patterning该怎么翻译，具体指的是怎样的实验过程？？？

原文地址：https://pubs.acs.org/doi/abs/10.1021/ar3001487
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1楼 2013-03-16 11:26:17
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conperint

金虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by hookhans at 2013-03-16 12:54:37
这些属于电子束曝光（electron beam lithography）技术的术语.
句子里讲的是先用电子束进行模具化, 然后用氧等离子体进行刻蚀, 从而得到所需的结构。

参考:
https://en.wikipedia.org/wiki/Electron_beam_lith ...

非常感谢！！！给的参考链接对我很有帮助
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3楼2013-03-16 19:23:47
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hookhans

铁杆木虫 (著名写手)

Farmer

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
conperint: 金币+5, 翻译EPI+1, ★★★★★最佳答案 2013-03-16 19:23:05
这些属于电子束曝光（electron beam lithography）技术的术语.
句子里讲的是先用电子束进行模具化, 然后用氧等离子体进行刻蚀, 从而得到所需的结构。

参考:
https://en.wikipedia.org/wiki/Electron_beam_lithography
https://zh.wikipedia.org/wiki/%E ... F%E6%9B%9D%E5%85%89
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where-there-is-a-will-there-is-a-way.
2楼2013-03-16 12:54:37
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