24小时热门版块排行榜

铁杆木虫 (著名写手)

Farmer

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
conperint: 金币+5, 翻译EPI+1, ★★★★★最佳答案 2013-03-16 19:23:05

这些属于电子束曝光（electron beam lithography）技术的术语.
句子里讲的是先用电子束进行模具化, 然后用氧等离子体进行刻蚀, 从而得到所需的结构。

参考:
https://en.wikipedia.org/wiki/Electron_beam_lithography
https://zh.wikipedia.org/wiki/%E ... F%E6%9B%9D%E5%85%89

where-there-is-a-will-there-is-a-way.

2楼2013-03-16 12:54:37

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

相关版块跳转我要订阅楼主 conperint 的主题更新