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【求助句子翻译】有关石墨烯的文章中的句子理解
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In their pioneering work, Han et al. produced GNRs from mechanically exfoliated graphene by e-beam patterning followed by oxygen plasma etching. 石墨烯中的e-beam patterning该怎么翻译，具体指的是怎样的实验过程？？？ 原文地址：https://pubs.acs.org/doi/abs/10.1021/ar3001487 |
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【答案】应助回帖
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conperint: 金币+5, 翻译EPI+1, ★★★★★最佳答案 2013-03-16 19:23:05
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这些属于电子束曝光（electron beam lithography）技术的术语. 句子里讲的是先用电子束进行模具化, 然后用氧等离子体进行刻蚀, 从而得到所需的结构。 参考: https://en.wikipedia.org/wiki/Electron_beam_lithography https://zh.wikipedia.org/wiki/%E ... F%E6%9B%9D%E5%85%89 |
2楼2013-03-16 12:54:37
3楼2013-03-16 19:23:47
