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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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conperint

兑换贵宾

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[求助] 【求助句子翻译】有关石墨烯的文章中的句子理解

In their pioneering work, Han et al. produced GNRs from mechanically exfoliated
graphene by e-beam patterning followed by oxygen plasma etching.

石墨烯中的e-beam patterning该怎么翻译,具体指的是怎样的实验过程???

原文地址:https://pubs.acs.org/doi/abs/10.1021/ar3001487

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hookhans

实习版主

Farmer

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【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
conperint: 金币+5, 翻译EPI+1, ★★★★★最佳答案 2013-03-16 19:23:05
这些属于电子束曝光(electron beam lithography)技术的术语.
句子里讲的是先用电子束进行模具化, 然后用氧等离子体进行刻蚀, 从而得到所需的结构。

参考:
https://en.wikipedia.org/wiki/Electron_beam_lithography
https://zh.wikipedia.org/wiki/%E ... F%E6%9B%9D%E5%85%89
where-there-is-a-will-there-is-a-way.
2楼2013-03-16 12:54:37
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conperint

主管区长

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引用回帖:
2楼: Originally posted by hookhans at 2013-03-16 12:54:37
这些属于电子束曝光(electron beam lithography)技术的术语.
句子里讲的是先用电子束进行模具化, 然后用氧等离子体进行刻蚀, 从而得到所需的结构。

参考:
https://en.wikipedia.org/wiki/Electron_beam_lith ...

非常感谢!!!给的参考链接对我很有帮助
3楼2013-03-16 19:23:47
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