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adsszw

木虫 (正式写手)

[求助] sem 喷铂问题

再金属上面沉积一层有机涂层，照电镜时喷了100 s的铂，结果发现涂层形貌跟以前照的完全不同了，是不是喷铂喷的太厚了
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1楼 2013-03-15 17:18:29
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154696523

金虫 (著名写手)

正能量使者

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adsszw: 金币+3 2013-03-19 11:22:12
100s是有一点点长，但正常情况下，100s以下的厚度对形貌没什么影响，你说的形貌完全不同，可能是喷射过程对有机涂层的影响非常大，你可以把样品一半挡住，只喷一半，然后SEM对比以下就应该清楚了
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Positive energy makes life better
2楼2013-03-16 07:45:36
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hfutjzy

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

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adsszw: 金币+3 2013-03-19 11:21:59
喷金电流控制在20-30，100s没多大问题，不知道你的电流是不是太大了，喷金过多的话是会损失很多细节结构的。样品没喷金之前有机物会充电发白，喷今后就是暗色的了，不知道你说的是不是这种差别。
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3楼2013-03-16 09:07:25
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adsszw

木虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by hfutjzy at 2013-03-16 09:07:25
喷金电流控制在20-30，100s没多大问题，不知道你的电流是不是太大了，喷金过多的话是会损失很多细节结构的。样品没喷金之前有机物会充电发白，喷今后就是暗色的了，不知道你说的是不是这种差别。

这是喷铂后照的，上面出现的裂纹应该不是有机层的裂纹吧

热处理后涂层 (4).jpg
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4楼2013-03-17 16:54:19
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hfutjzy

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
4楼: Originally posted by adsszw at 2013-03-17 16:54:19
这是喷铂后照的，上面出现的裂纹应该不是有机层的裂纹吧

热处理后涂层 (4).jpg
...

这倒痕倒是有点像裂痕，可能是喷的时候附着有些表面张力类的东西把有机物表面撕裂了，毕竟喷的时候是在低真空下。建议你低加速电压看一下，你用的是场发射电镜么？
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5楼2013-03-17 17:58:29
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adsszw

木虫 (正式写手)
引用回帖:
5楼: Originally posted by hfutjzy at 2013-03-17 17:58:29
这倒痕倒是有点像裂痕，可能是喷的时候附着有些表面张力类的东西把有机物表面撕裂了，毕竟喷的时候是在低真空下。建议你低加速电压看一下，你用的是场发射电镜么？...

对，是场发射的
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6楼2013-03-18 14:01:29
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