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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 请教制备薄膜时不同的退火方式
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破晓初春

金虫 (正式写手)
引用回帖:
10楼: Originally posted by wangbo1966 at 2013-03-07 17:01:18
三种都算退火。
要看你退火的目的，如果是为了提高结晶度和补充氧含量，第一种方法的原位退火效果应该最好，第三种次之，而第二种效果最差。因为是在300℃保温，原子扩散能力相对较弱，因此对结晶度和补氧量的作用 ...

目的就是为了补充氧含量提高结晶度，但为什么第一种比第三种在炉子里的要好呢？我以为第一种和第三种效果差不多呢。。。
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11楼2013-03-09 13:25:03
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Drizzt_Ng

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★
破晓初春: 金币+6 2013-03-12 10:47:25
引用回帖:
10楼: Originally posted by wangbo1966 at 2013-03-07 17:01:18
三种都算退火。
要看你退火的目的，如果是为了提高结晶度和补充氧含量，第一种方法的原位退火效果应该最好，第三种次之，而第二种效果最差。因为是在300℃保温，原子扩散能力相对较弱，因此对结晶度和补氧量的作用 ...

也不绝对的，楼主通氧退火应该是为了防止氧缺位，那就要看该材料的吸氧温度了，不是说越高越好。
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12楼2013-03-11 13:42:38
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破晓初春

金虫 (正式写手)
引用回帖:
12楼: Originally posted by Drizzt_Ng at 2013-03-11 13:42:38
也不绝对的，楼主通氧退火应该是为了防止氧缺位，那就要看该材料的吸氧温度了，不是说越高越好。...

谢谢，吸氧温度一般能在文献里查到吗？
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13楼2013-03-12 10:47:58
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钦点木瓜

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★
破晓初春: 金币+6, 谢谢，随炉降温的话那个不同的保温温度也会有影响的 2013-03-12 17:53:08
zhaohaixing: 欢迎来功能材料版块交流~ 2013-04-08 08:36:54
三种都是退火的。第一种原味退火效果应该是最好的，因为不必破真空在接触到大气中的其他气体减少污染。第二种退火，可能是考虑到降温速率对薄膜性能的影响，降温过快的话，薄膜有可能会裂开。第三种随炉退火是比较常用的，我一般都是随炉，但是温度没那么高。
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用绳命来搞科研
14楼2013-03-12 11:19:58
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Drizzt_Ng

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

引用回帖:
13楼: Originally posted by 破晓初春 at 2013-03-12 10:47:58
谢谢，吸氧温度一般能在文献里查到吗？...

可以啊，不同材料应该挺多都有介绍的
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15楼2013-03-12 11:45:26
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