| 查看: 2957 | 回复: 14 | ||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||
[求助]
请教制备薄膜时不同的退火方式
|
||
|
磁控溅射制备薄膜，需要退火，想用以下三种方法： 1.溅射完后，800度通氧气一小时，再降到室温 2.溅射完后，从800度降到一个固定的温度（如300度），设定一个固定的时间（比如一小时），此过程通氧气，然后再降到室温 3.溅射完后，取出薄膜放入管式炉中通氧气800度下一小时，再降到室温 请教下第二种方法算退火吗？如果算的话这三种方式分别是什么？原位退火or？？？有什么区别和影响？ |
回复此楼» 猜你喜欢
085400电子信息类（川大控制工程）求调剂可跨专业 求老师联系
已经有5人回复
-
求调剂学校
已经有10人回复
-
材料工程281还有调剂机会吗
已经有41人回复
-
求调剂
已经有13人回复
-
290调剂生物0860
已经有35人回复
-
一志愿鲁东大学071000生物学学硕初试分数276求调剂
已经有30人回复
-
327求调剂
已经有25人回复
-
药学求调剂
已经有11人回复
-
通信工程求调剂！！！
已经有4人回复
-
材料工程085601，270求调剂
已经有46人回复
13楼2013-03-12 10:47:58
zvs1988
铁杆木虫 (著名写手)
BOSS
- 应助: 22 (小学生)
- 金币: 9094.8
- 散金: 105
- 红花: 8
- 帖子: 1085
- 在线: 1135.8小时
- 虫号: 1907192
- 注册: 2012-07-23
- 性别: GG
- 专业: 金属功能材料
2楼2013-03-07 13:26:34
wu1008
金虫 (著名写手)
- 应助: 243 (大学生)
- 金币: 1486.4
- 散金: 176
- 红花: 14
- 帖子: 1788
- 在线: 197.6小时
- 虫号: 1859230
- 注册: 2012-06-14
- 性别: GG
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
3楼2013-03-07 14:07:57
4楼2013-03-07 14:54:13
