应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 请教制备薄膜时不同的退火方式
51/1返回列表
查看: 2833  |  回复: 14
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

破晓初春

金虫 (正式写手)

[求助] 请教制备薄膜时不同的退火方式

磁控溅射制备薄膜，需要退火，想用以下三种方法：
1.溅射完后，800度通氧气一小时，再降到室温
2.溅射完后，从800度降到一个固定的温度（如300度），设定一个固定的时间（比如一小时），此过程通氧气，然后再降到室温
3.溅射完后，取出薄膜放入管式炉中通氧气800度下一小时，再降到室温
请教下第二种方法算退火吗？如果算的话这三种方式分别是什么？原位退火or？？？有什么区别和影响？
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

学学学

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2013-03-07 12:46:11
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lulinsmann

木虫 (著名写手)

三无小小鸟

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
破晓初春: 金币+10, 谢谢，那也就是post annealing包括jn-situ和ex-situ？ 2013-03-08 06:31:13
引用回帖:
5楼: Originally posted by 破晓初春 at 2013-03-07 14:58:16
in-situ，ex-situ和post-annealing 这三者有什么区别呢？谢谢...

in-situ：原位，即在溅射腔中不取出直接退火，你所述的前两种即in-situ
ex-situ：离位，即从溅射腔中取出退火，你所述的第三种即ex-situ
post-annealing：后续退火，即在溅射完成后再退火，区别于溅射过程中的热处理，你所述的三种都是post-annealing
赞一下(1人) 回复此楼
江湖背影
8楼2013-03-07 16:14:42
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 15 个回答

zvs1988

铁杆木虫 (著名写手)

BOSS

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
chemlh: 欢迎积极交流 2013-03-07 15:46:23
破晓初春: 金币+3 2013-03-08 06:35:41
陶瓷吧   不知道你试过没   我觉得3种方法如果是对同一个样品 应该没有差别
赞一下 回复此楼
何必看破
2楼2013-03-07 13:26:34
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wu1008

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
破晓初春: 金币+3 2013-03-08 06:36:17
最大的不同是退火温度不一样

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
赞一下 回复此楼
3楼2013-03-07 14:07:57
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

破晓初春

金虫 (正式写手)
zhaohaixing: 欢迎来功能材料版块交流~ 2013-04-08 08:36:19
引用回帖:
3楼: Originally posted by wu1008 at 2013-03-07 14:07:57
最大的不同是退火温度不一样

请问in-situ- 和 post-anneal 分别是指哪种退火方式？
赞一下 回复此楼
4楼2013-03-07 14:54:13
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 15 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 292求调剂 +6 yhk_819 2026-02-28 6/300 2026-03-01 23:23 by 向上的胖东
[考研] 265分求调剂不调专业和学校有行学上就 +6 礼堂丁真258 2026-02-28 8/400 2026-03-01 22:50 by jian_
[考研] 材料化工调剂 +11 今夏不夏 2026-03-01 12/600 2026-03-01 22:33 by 刘兵
[考研] 298求调剂 +6 axyz3 2026-02-28 6/300 2026-03-01 19:00 by 18137688336
[考研] 0856材料求调剂 +11 hyf hyf hyf 2026-02-28 12/600 2026-03-01 18:57 by 18137688336
[考研] 291分工科求调剂 +9 science饿饿 2026-03-01 10/500 2026-03-01 18:55 by 18137688336
[考研] 295求调剂 +7 19171856320 2026-02-28 7/350 2026-03-01 18:54 by 18137688336
[考研] 0857调剂 +3 一ll半 2026-02-28 3/150 2026-03-01 18:32 by 热情沙漠
[考研] 材料学调剂 +9 提神豆沙包 2026-02-28 11/550 2026-03-01 18:15 by ms629
[考博] 26申博 +4 想申博！ 2026-02-26 6/300 2026-03-01 17:32 by 想申博！
[考研] 290求调剂 +9 材料专硕调剂； 2026-02-28 11/550 2026-03-01 17:21 by sunny81
[考研] 0856材料求调剂 +4 麻辣鱿鱼 2026-02-28 4/200 2026-03-01 16:51 by caszguilin
[考研] 化工专硕342，一志愿大连理工大学，求调剂 +3 kyf化工 2026-02-28 4/200 2026-03-01 16:49 by yywzz
[基金申请] 刚录用，没有期刊号，但是在线可看的论文可以放为代表作吗 10+3 arang1 2026-03-01 3/150 2026-03-01 16:43 by babero
[考研] 课题组接收材料类调剂研究生 +3 gaoxiaoniuma 2026-02-28 4/200 2026-03-01 14:30 by jjj三跨
[考研] 302材料工程求调剂 +4 Doleres 2026-03-01 5/250 2026-03-01 11:52 by liqiongjy
[考研] 311求调剂 +9 南迦720 2026-02-28 10/500 2026-03-01 10:55 by sunny81
[硕博家园] 2025届双非化工硕士毕业，申博 +3 更多的是 2026-02-27 4/200 2026-03-01 10:04 by ztg729
[基金申请] 面上模板改不了页边距吧？ +5 ieewxg 2026-02-25 6/300 2026-03-01 00:10 by addressing
[硕博家园] 【博士招生】太原理工大学2026化工博士 +4 N1ce_try 2026-02-24 8/400 2026-02-26 08:40 by N1ce_try
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭