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bluethere

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[求助] XPS测试氧化处理后的Ti-6Al-4V碳含量异常

最近用XPS测试了三组ti-6al-4V样品，分别是抛光，双氧水浸泡（24h)和热氧化处理的。但是测试结果显示碳含量分别为37.16， 39.52， 53.17。我的反应前处理为：抛光至1um，然后用丙酮超声清洗15min，然后再用蒸馏水超声清洗15min。测试前也用同样的方法清洗。但同类文献中一般在20-30%左右。

AFM测试的结果也比同类文献中偏小。抛光组的Ra只有3nm，双氧水处理的Ra为30nm左右。

不知为什么会出现这么严重的污染。请各位前辈指教。

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1楼 2013-02-20 02:00:24

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引用回帖:

2楼: Originally posted by plasma1953 at 2013-02-20 08:20:08
XPS是用来检测元素价态的，而其中碳峰用来矫正谱线峰位（峰值为284.6），不用太纠结碳含量的。而且XPS对于O元素之前的元素量是测不准的，为半定量分析，你所谓的37.16本身也是不准确的。

感谢知道。今天和老板聊了一下，他也这么说。但是对于矫正我有一个疑问，我们的技术员告诉我用285矫正C,但是看了一些帖子，发现也有如你说的用284.6,284.8等。
这样的话每个元素的峰值也会有所偏差，那么在标注其他峰时岂不是又会有偏差？