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CVD(化学气相沉积)方法 为什么不能制备很厚的薄膜
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CVD(化学气相沉积)方法 为什么不能制备很厚的薄膜
已有1人参与
利用CVD(化学气相沉积)方法制备薄膜,为什么得不到cm级厚度的薄膜?
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2013-02-18 17:35:34
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7楼
:
Originally posted by
zihudie
at 2013-02-19 09:04:26
请教一下为什么基底不平,坑里的沉不进去呢?不应该也是一点一点堆进去的吗?...
我理解的是就像下雪一样 如果地面不平 积雪也会坑坑洼洼的
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9楼
2013-02-19 09:20:18
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2013-02-18 18:13:57
ant_512: 金币+1, 感谢应助~
2013-02-18 18:55:32
本来都是离子还原成原子再堆起来,不可能无限堆
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2楼
2013-02-18 17:53:05
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2楼
:
Originally posted by
醋人
at 2013-02-18 17:53:05
本来都是离子还原成原子再堆起来,不可能无限堆
如果基底 很大 是3维结构的 是不是在3维结构表面上都可以形成很薄的薄膜?
这个3维结构的基底 是不是就可以无限大 都可以?
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3楼
2013-02-18 18:13:48
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★
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有帮助, 谢谢
2013-02-18 18:45:21
引用回帖:
3楼
:
Originally posted by
xjxj1xjxj
at 2013-02-18 18:13:48
如果基底 很大 是3维结构的 是不是在3维结构表面上都可以形成很薄的薄膜?
这个3维结构的基底 是不是就可以无限大 都可以?...
原子直径0.1nm级,到cm及得堆多少,基底可以和初始沉积原子反应,后边就不一定了。
有反应能力才可以
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4楼
2013-02-18 18:26:18
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