| 查看: 1083 | 回复: 3 | |||
xmcxbjh金虫 (小有名气)
|
[交流]
LPCVD制备多晶硅薄膜及表征中的问题 已有2人参与
|
|
1.用LPCVD法制备多晶硅薄膜时，我用20PA；通了硅烷，一会后压强突然发生改变，我就把压强调回来；一会后压强又突然改变，我又把压强调回来；我的总的镀膜时间设定为0.5小时，但在这种情况下，20PA时镀膜的时间肯定不准确！ 有谁也出现过这种情况的啊？请高手指点！！ 2.在测方块电阻时，我用的直线型四探针，可是每次探针只要和样品一接触，电流就从0变成正数；如果忽略这个问题，输出电压经常会是负的，而且和电流大小没有关系！ 请高手指点啊！ 3.多晶硅和单晶硅的电阻率谁大谁小啊？ 4.大家测方块电阻都是怎么测啊？能简单说下步骤么？ 上述问题请高手作答，我会自己手工发放金币！ 泣谢！ |
回复此楼» 猜你喜欢
308求调剂
已经有4人回复
-
一志愿安大生物学07初试322、本科二本、调剂求助
已经有3人回复
-
求调剂
已经有15人回复
-
326求调剂
已经有6人回复
-
电子信息270求调剂
已经有15人回复
-
295分求调剂
已经有10人回复
-
290调剂生物0860
已经有22人回复
-
调剂求收留
已经有23人回复
-
291求调剂
已经有8人回复
-
293求调剂
已经有8人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 高浓度表面活性剂的水溶液有哪些表征方法
已经有9人回复
- 复试中遇到的一个问题
已经有28人回复
- 老板开公司，既不让做实验，又没空改论文，又让我发一篇SCI，纯模拟的，能发LP么？？
已经有24人回复
- 轻质骨料强度的表征
已经有4人回复
- 请教高手指点迷津－固体磷核磁表征固体酸酸强度
已经有5人回复
- 用PECVD和LPCVD能生长的氮化硅膜厚范围
已经有4人回复
- 制备真菌孢子悬浮液的问题——是固体好还是液体培养好？
已经有18人回复
- 表征旋涂薄膜的内部孔隙率
已经有9人回复
- 溶胶凝胶制备MgO薄膜，其取向生长受衬底影响吗？
已经有3人回复
- 请问用AAO制备的纳米线做SEM表征后续处理问题
已经有12人回复
- 【求助】关于多晶硅太阳能电池在制备中的Rsh波动问题
已经有3人回复
- 粉体SEM表征，是用铜片还是导电橡胶？
已经有15人回复
knightshui
木虫 (小有名气)
- 应助: 2 (幼儿园)
- 金币: 4420.1
- 散金: 11
- 红花: 3
- 帖子: 251
- 在线: 109.9小时
- 虫号: 742235
- 注册: 2009-04-07
- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
★ ★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
lovibond(金币+2): 鼓励交流 2011-07-05 09:00:02
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
lovibond(金币+2): 鼓励交流 2011-07-05 09:00:02
|
1.用LPCVD法制备多晶硅薄膜时，我用20PA；通了硅烷，一会后压强突然发生改变，我就把压强调回来；一会后压强又突然改变，我又把压强调回来；我的总的镀膜时间设定为0.5小时，但在这种情况下，20PA时镀膜的时间肯定不准确！ 这种情况在不是最大抽气速率的情况下是常见的，你只能试试抽气速率设的最大，用通入的气体量来调压强。 2.在测方块电阻时，我用的直线型四探针，可是每次探针只要和样品一接触，电流就从0变成正数；如果忽略这个问题，输出电压经常会是负的，而且和电流大小没有关系！ 我们的四探针测试仪是自动的，设置好之后，放上样品，压上针，自动出数据。 3.多晶硅和单晶硅的电阻率谁大谁小啊？ 二者的电阻率和掺杂浓度相关，中等掺杂浓度以下，多晶硅的电阻率高一些。但是高掺杂的情况下，二者其实差不多了就。 |
2楼2011-07-05 00:40:22
xmcxbjh
金虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 569
- 帖子: 126
- 在线: 21.4小时
- 虫号: 1234594
- 注册: 2011-03-16
- 性别: GG
- 专业: 金属材料的制备科学与跨学
3楼2011-07-05 08:35:44
hittyk
金虫 (正式写手)
- 应助: 3 (幼儿园)
- 金币: 3664.4
- 散金: 287
- 红花: 1
- 帖子: 495
- 在线: 862.9小时
- 虫号: 1953720
- 注册: 2012-08-24
- 性别: GG
- 专业: 海洋工程
4楼2012-11-13 10:42:32
