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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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xjxj1xjxj

银虫 (著名写手)

[求助] CVD(化学气相沉积)方法 为什么不能制备很厚的薄膜 已有1人参与

利用CVD(化学气相沉积)方法制备薄膜,为什么得不到cm级厚度的薄膜?
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一起随缘
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xbgdj1

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
ant_512: 金币+1, 奖励! 2013-03-07 09:13:41
个人认为:
1.CVD工艺存在shadow等影响,纳米或微米级薄膜影响较小一下,如果厚度增加,可能出现薄膜空洞等现象;
2.材料在衬底上沉积时时会产生应力,随着厚度增加,应力不断增加,可能出现沉积薄层崩裂现象(特别时从高温转移至室温后)
10楼2013-02-19 10:05:17
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醋人

至尊木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
xjxj1xjxj: 金币+2, ★★★很有帮助 2013-02-18 18:13:57
ant_512: 金币+1, 感谢应助~ 2013-02-18 18:55:32
本来都是离子还原成原子再堆起来,不可能无限堆
精专业、强意志、壮身体
2楼2013-02-18 17:53:05
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xjxj1xjxj

银虫 (著名写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 醋人 at 2013-02-18 17:53:05
本来都是离子还原成原子再堆起来,不可能无限堆

如果基底 很大 是3维结构的 是不是在3维结构表面上都可以形成很薄的薄膜?
这个3维结构的基底 是不是就可以无限大 都可以?
一起随缘
3楼2013-02-18 18:13:48
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醋人

至尊木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖


xjxj1xjxj: 金币+1, 有帮助, 谢谢 2013-02-18 18:45:21
引用回帖:
3楼: Originally posted by xjxj1xjxj at 2013-02-18 18:13:48
如果基底 很大 是3维结构的 是不是在3维结构表面上都可以形成很薄的薄膜?
这个3维结构的基底 是不是就可以无限大 都可以?...

原子直径0.1nm级,到cm及得堆多少,基底可以和初始沉积原子反应,后边就不一定了。
有反应能力才可以
精专业、强意志、壮身体
4楼2013-02-18 18:26:18
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