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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 复合材料 » 交流互助 » CVD（化学气相沉积）方法 为什么不能制备很厚的薄膜
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xjxj1xjxj

银虫 (著名写手)

[求助] CVD（化学气相沉积）方法 为什么不能制备很厚的薄膜 已有1人参与

利用CVD（化学气相沉积）方法制备薄膜，为什么得不到cm级厚度的薄膜？
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一起随缘
1楼 2013-02-18 17:35:34
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xbgdj1

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
ant_512: 金币+1, 奖励！ 2013-03-07 09:13:41
个人认为：
1.CVD工艺存在shadow等影响，纳米或微米级薄膜影响较小一下，如果厚度增加，可能出现薄膜空洞等现象;
2.材料在衬底上沉积时时会产生应力，随着厚度增加，应力不断增加，可能出现沉积薄层崩裂现象（特别时从高温转移至室温后）
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10楼2013-02-19 10:05:17
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醋人

至尊木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
xjxj1xjxj: 金币+2, ★★★很有帮助 2013-02-18 18:13:57
ant_512: 金币+1, 感谢应助~ 2013-02-18 18:55:32
本来都是离子还原成原子再堆起来，不可能无限堆
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精专业、强意志、壮身体
2楼2013-02-18 17:53:05
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xjxj1xjxj

银虫 (著名写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 醋人 at 2013-02-18 17:53:05
本来都是离子还原成原子再堆起来，不可能无限堆

如果基底 很大 是3维结构的 是不是在3维结构表面上都可以形成很薄的薄膜？
这个3维结构的基底 是不是就可以无限大 都可以？
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一起随缘
3楼2013-02-18 18:13:48
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醋人

至尊木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

★
xjxj1xjxj: 金币+1, ★有帮助, 谢谢 2013-02-18 18:45:21
引用回帖:
3楼: Originally posted by xjxj1xjxj at 2013-02-18 18:13:48
如果基底 很大 是3维结构的 是不是在3维结构表面上都可以形成很薄的薄膜？
这个3维结构的基底 是不是就可以无限大 都可以？...

原子直径0.1nm级，到cm及得堆多少，基底可以和初始沉积原子反应，后边就不一定了。
有反应能力才可以
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精专业、强意志、壮身体
4楼2013-02-18 18:26:18
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