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银虫 (著名写手)

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[求助] CVD（化学气相沉积）方法为什么不能制备很厚的薄膜已有1人参与

利用CVD（化学气相沉积）方法制备薄膜，为什么得不到cm级厚度的薄膜？

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一起随缘

1楼 2013-02-18 17:35:34

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dinago

金虫 (正式写手)

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引用回帖:

10楼: Originally posted by xbgdj1 at 2013-02-19 10:05:17
个人认为：
1.CVD工艺存在shadow等影响，纳米或微米级薄膜影响较小一下，如果厚度增加，可能出现薄膜空洞等现象;
2.材料在衬底上沉积时时会产生应力，随着厚度增加，应力不断增加，可能出现沉积薄层崩裂现象（特别 ...

您好，请问为什么材料在衬底上沉积时会产生应力啊？

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