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nanyi545
金虫
(小有名气)
应助: 1
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帖子: 298
在线: 386.9小时
虫号: 700423
注册: 2009-02-13
性别: GG
专业: 凝聚态物性 II :电子结构
[
求助
]
求助CVD达人
不知道有没有达人看到过类似这样的文献:用CVD张一种材料,长得挺薄的时候是结晶的,长得厚了表面变无定型了,然后研究其中的机理的。。。
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1楼
2013-02-05 05:57:12
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lhto878
木虫
(小有名气)
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虫号: 1109571
注册: 2010-09-27
性别: GG
专业: 半导体材料
【答案】应助回帖
★ ★ ★ ★ ★
nanyi545: 金币+5
2013-03-24 17:39:12
初始生长时受基底影响较大,或有可能成晶体。cvd的温度越低,越容易形成非晶膜。
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2楼
2013-03-02 09:47:09
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